Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv procesarea plachetelor și plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele ceramice SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la piese consumabile pentru echipamentele de procesare a napolitanelor, cum ar fi napolitană cu carbură de siliciu, palete cantilever, tuburi etc. pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu carbură de siliciu de înaltă puritate (SiC) care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Vâslă cantilever →
Cantilever Paddle este o componentă crucială utilizată în procesele de fabricație a semiconductoarelor, în special în cuptoarele de difuzie sau LPCVD în timpul proceselor precum difuzia și RTP.
Tub de proces →
Tubul de proces este o componentă crucială, proiectată special în diverse aplicații de procesare a semiconductoarelor, cum ar fi RTP, difuzie.
Barci cu napolitană →
Wafer Boat este folosită în procesarea semiconductoarelor, a fost proiectată meticulos pentru a se asigura că napolitanele delicate sunt păstrate în siguranță în etapele critice ale producției.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentele MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediul extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Semicorex are, de asemenea, produse ceramice din Alumină (Al2O3), Nitrură de Siliciu (Si3N4), Nitrură de Aluminiu (AIN), Zirconiu (ZrO2), Ceramică Compozită etc.
Placa ceramică Semicorex SiC oferă performanțe de neegalat în medii care necesită rezistență la uzură, rezistență la coroziune și stabilitate la temperaturi ridicate. Acest produs este conceput pentru a fi utilizat ca plăci de căptușeală și piese de sprijin într-o varietate de aplicații solicitante.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex AlN Ceramic Disc se remarcă ca un material cu o capacitate excepțională, apreciat pentru combinația sa unică de proprietăți termice, mecanice și electrice. La Semicorex, suntem în fruntea producției de discuri ceramice AlN, asigurându-ne că aceste componente îndeplinesc cerințele stricte ale tehnologiei moderne și ale aplicațiilor industriale.**
Citeşte mai multTrimite o anchetăSi3N4 Sleeve de la Semicorex este un material versatil și de înaltă performanță care oferă o combinație unică de densitate scăzută, duritate superioară, rezistență excelentă la uzură și stabilitate termică și chimică excepțională.**
Citeşte mai multTrimite o anchetăFuncția principală a mandrinei cu vid din ceramică poroasă Semicorex constă în capacitatea sa de a oferi o permeabilitate uniformă la aer și apă, o caracteristică care asigură distribuția uniformă a tensiunii și aderența robustă a plachetelor de siliciu. Această caracteristică este crucială în timpul procesului de măcinare, deoarece împiedică alunecarea plachetei, menținând astfel integritatea operațiunii.**
Citeşte mai multTrimite o anchetăTubul de alumină Semicorex este o componentă esențială într-o varietate de aplicații industriale, renumit pentru capacitatea sa de a rezista la medii dure și la temperaturi ridicate.**
Citeşte mai multTrimite o anchetăDiscul ceramic PBN de la Semicorex este sintetizat printr-un proces complex de depunere chimică în vapori (CVD), utilizând triclorura de bor (BCl3) și amoniac (NH3) la temperaturi ridicate și presiuni scăzute. Această metodă de sinteză are ca rezultat un material de puritate și integritate structurală excepționale, făcându-l indispensabil pentru o varietate de aplicații în industria semiconductoarelor.**
Citeşte mai multTrimite o anchetă