Palete SiC

Padelele Semicorex SiC sunt „purtătorii” de napolitane, ducând napolitanele în cuptoare la temperaturi mai mari de 1000 de grade Celsius. Acesta este beneficiul lor cheie: puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată, pentru a menține rigiditatea mecanică atunci când transportați proba în medii extreme. Materialele de înaltă puritate sunt eficiente pentru a împiedica impuritățile metalice să contamineze napolitana; la fel și stabilitatea la temperaturi ridicate acarbură de siliciu, deoarece va menține stabilitatea chimică la temperaturi de procesare care împiedică eliminarea de gaz a impurităților metalice sau a particulelor de la contaminarea plachetei, asigurând un randament stabil al plachetei. În sfârșit,palete cantileversunt, de asemenea, compatibile cu sistemele integrate de transfer de plachete, reducând și mai mult dependența de oameni și crescând debitul.

, Paletele SiC asigură stabilitatea termică, rezistența mecanică și durabilitatea chimică pentru a asigura un transport stabil peste temperaturi de 1000 °C. Paletele SiC sunt necesare pentru prelucrarea plachetelor: se va asigura că substraturile fragile pot fi manipulate în mod corespunzător, menținând în același timp integritatea și consistența pe tot parcursul procesului de oxidare, difuzie și recoacere.carbură de siliciu (SiC), Paletele SiC asigură stabilitatea termică, rezistența mecanică și durabilitatea chimică pentru a asigura un transport stabil peste temperaturi de 1000 °C. Paletele SiC sunt necesare pentru prelucrarea plachetelor: se va asigura că substraturile fragile pot fi manipulate în mod corespunzător, menținând în același timp integritatea și consistența pe tot parcursul procesului de oxidare, difuzie și recoacere.

Proiectate pentru a fi robuste și fiabile, paletele SiC sunt brațe de tip cantilever care susțin bărci de napolitane sau stive de napolitane. Paleta susține napolitanele în timp ce acestea sunt introduse sau scoase din camera de proces. Materialele convenționale eșuează la aceste temperaturi ridicate prin deformare, deformare sau degradare chimică. Stabilitatea mecanică și integritatea structurală a carburii de siliciu permite paletei să supraviețuiască mai multor cicluri termice fără pierderea formei sau funcției. Această capacitate este importantă pentru menținerea alinierii cuptorului, pentru a se asigura că plachetele nu sunt deteriorate în timpul procesului și pentru a minimiza timpul de nefuncționare costisitor.

Stabilitatea termică a paletelor SiC este completată de rezistența sa chimică excelentă la gazele reactive care apar de obicei în procesele de oxidare și difuzie (de exemplu, oxigen, clor și alte specii agresive la temperaturi ridicate). Multe materiale vor fi distruse sau contaminate atunci când sunt expuse atât la temperaturi ridicate, cât și la oxigen. Carbura de siliciu este inertă din punct de vedere chimic, iar microstructura sa densă asigură că nu vor avea loc reacții chimice, oferind atât integritatea structurală a paletei, cât și un mediu curat pentru napolitană. Riscul de contaminare rezultat este redus la minimum pentru producătorii de semiconductori care operează la unele dintre cele mai avansate noduri de proces pentru care chiar și oligoelemente de contaminare pot induce modificări semnificative în performanța dispozitivului.

Integritatea mecanică asociată cu paletele SiC oferă, de asemenea, valoare în procesele de manipulare. Forma structurală în consolă necesită un material care poate susține greutățile stivelor de straturi și nu se îndoaie și nu se lasă. Modulul foarte mare al carburii de siliciu și duritatea foarte mare o fac să fie o bună luare în considerare pentru funcția structurală mecanică necesară. Paleta SiC păstrează atât planeitatea, cât și structura chiar și încărcată cu napolitane. Aceasta înseamnă controlul constant al cuptorului și al condițiilor acestuia pe perioade lungi de producție.