Paleta ceramica SiC

Paleta ceramică Semicorex SiC este o piesă avansată care a fost dezvoltată pentru aplicații de cuptoare semiconductoare la temperatură înaltă, cum ar fi oxidarea și difuzia. Paleta acționează ca suport cantilever pentru a ține și a muta napolitanele la temperaturi ridicate. Paleta ceramică Semicorex SiC oferă componente ceramice de înaltă puritate, de înaltă rezistență proceselor la temperatură înaltă care necesită fiabilitate, stabilitate și performanță prin procesul de producție.

Paletele sunt produse din de înaltă puritatecarbură de siliciu (SiC), special formulat pentru a rezista la mediile dure termice și chimice ale unui proces de fabricare a semiconductorilor. Când plachetele sunt tratate prin oxidare și difuzie, placheta este expusă la temperaturi mai mari de 1000 de grade C, precum și la gaze reactive precum oxigen, abur sau atmosfere de dopant. La aceste temperaturi, integritatea structurală va depinde de puritatea materialului.

O altă caracteristică importantă a paletelor ceramice SiC este performanța lor superbă la temperaturi ridicate. Datorită punctului de topire al SiC de 2700 + C, paletele își păstrează rezistența și stabilitatea mecanică atunci când sunt expuse la temperaturi ridicate.

caracterelor de-a lungul timpului. Proprietatea termică limitează deformarea și fisurarea materialului în timpul ciclurilor repetate de încălzire și răcire, oferind în același timp o durată de viață lungă în mediile de producție.

Procesarea semiconductorilor necesită un mediu ultra-curat, deoarece chiar și urme de impurități pot afecta randamentul și comportamentul dispozitivelor. Materialul SiC utilizat în palete are o acoperire SiC depusă chimic în vapori (CVD) care promovează o puritate excepțional de ridicată a materialului, reducând în același timp contaminarea metalică. Paleta ceramică SiC rămâne curată și stabilă pe toată durata de viață. Ca suporturi cantilever, paletele trebuie să ofere un suport sigur pentru suporturile de napolitană sau bărci în timpul introducerii și scoaterii din cuptor. Din cauzaSicRezistența și rigiditatea inerentă, ele posedă proprietăți bune de suportare a sarcinii cu o deformare minimă, ceea ce este esențial pentru manipularea și alinierea corectă a plachetei. În cuptoarele de oxidare și difuzie, atmosferele corozive pot ataca și degrada materialele tradiționale în timp, dar SiC are capacitatea de a-și menține stabilitatea chimică, prelungind durata de viață utilă a paletei. Acest lucru are ca rezultat reducerea dramatică a costurilor de întreținere și înlocuire, deoarece paletele nu trebuie să fie înlocuite sau reparate aproape la fel de des.

Pe lângă performanță, există flexibilitate în personalizarea paletelor pentru echipamente și procese specifice. Dimensiunile, toleranțele și finisajul suprafeței pot fi flexibile pentru a asigura potrivirea între modelele de cuptor și orice alt sistem de manipulare a plachetelor. Capacitatea de a obține grade ridicate de precizie dimensională cu prelucrarea de precizie a ceramicii va permite, de asemenea, să fie produse palete pentru a îndeplini geometrii complexe. Această întreagă gamă de caracteristici este menită să ofere o funcționare fără întreruperi și o integrare ușoară în liniile de producție existente.

Ceramica Sicpaletele, cu combinația lor de puritate ridicată, stabilitate termică, rezistență mecanică și rezistență chimică, sunt materiale esențiale în procesele de oxidare și difuzie a semiconductoarelor. Oferind o platformă stabilă și curată pentru transferul plachetelor, acestea contribuie direct la îmbunătățirea randamentului, a consistenței procesului și a eficienței generale a producției.