Transportatori de placă acoperită cu sic

Transportatorii de placi acoperite cu semicorex SIC sunt componente avansate care susțin napolitane pentru procesele de temperatură ridicată în aplicații cu semiconductor, cum ar fi creșterea epitaxială, difuzarea și BCV. Transportatorii oferă beneficii structurale de la grafit de înaltă puritate, combinate cu beneficii de suprafață maximă prin utilizarea unei densiuni și uniformeAcoperire sicPentru stabilitate termică optimă, rezistență chimică și rezistență mecanică în condiții de procesare dificilă.

Nucleu de grafit de înaltă puritate pentru o conductivitate termică optimă

Transportatorii de napolitane acoperite cu sic sunt un material de substrat de cereale ultra-fine, grafit de înaltă puritate. Este un conductor termic eficient, fiind atât ușor, cât și mașinabil, poate fi fabricat în geometrii complexe care sunt necesare de dimensiunea unică a plafonului și de factorii de proces. Grafitul oferă încălzire uniformă la suprafața plafonului, limitând apariția gradienților termici și a defectelor de procesare termică.

Acoperire sic densă pentru protecția suprafeței și compatibilitatea proceselor

Purtătorul de grafit este acoperit cu carbură de siliciu de înaltă puritate, CVD. Acoperirea SIC asigură o protecție impermeabilă, fără pori, împotriva coroziunii, oxidării și a contaminării gazelor de proces de la specii precum hidrogenul, clorul și silanul. Rezultatul final este un purtător de particulari reduse, duri, care nu se degradează și nu pierde stabilitatea dimensională, alege să se supună numeroase cicluri termice și reprezintă un potențial semnificativ scăzut de contaminare a plafonului.

Beneficii și caracteristici cheie

Rezistență termică: Acoperirile SIC sunt stabile la temperaturi care depășesc 1600 ° C, care este optimizată pentru epitaxie la temperatură ridicată și nevoile de difuzie.

Rezistent chimic excelent: rezistă la toate gazele de proces corozive și substanțele chimice de curățare și permite o viață mai lungă și mai puțin timp de oprire.

Generarea scăzută a particulelor: Suprafața SIC minimizează scăderea și vărsarea particulelor și menține curat mediul de proces care este vital pentru randamentul dispozitivului.

Controlul dimensiunii: conceput precis pentru a închide toleranțele pentru a asigura un suport uniform al plafonului, astfel încât să poată fi gestionat automat cu napolitane.

Reducerea costurilor: ciclurile de viață mai lungi și nevoile de întreținere mai mici oferă un cost total mai mic de proprietate (TCO) decât transportatorii tradiționali de grafit sau gol.

Aplicații:

Transportatorii de napolitane acoperite cu SIC sunt utilizați pe scară largă la fabricarea de semiconductori de putere, semiconductori compuși (cum ar fi GAN, SIC), MEMS, LED-uri și alte dispozitive care necesită procesare la temperaturi ridicate în medii chimice agresive. Acestea sunt esențiale în special în reactoarele epitaxiale, unde curățenia suprafeței, durabilitatea și uniformitatea termică influențează direct calitatea vaferului și eficiența producției.

Personalizare și control al calității

SemicorexSic acoperitTransportatorii de wafer sunt produse sub protocoale stricte de control al calității. De asemenea, avem flexibilitate cu dimensiuni și configurații standard și putem personaliza soluții de ingineri care îndeplinesc cerințele clienților. Indiferent dacă aveți un format de wafer de 4 inci sau 12 inci, putem optimiza purtătorii de wafer pentru reactoare orizontale sau verticale, prelucrare de lot sau de placă unică și rețete de epitaxie specifice.