Suport de gravare PSS acoperit cu SiC

Purtătorii de napolitane utilizați în procesarea creșterii epixiale și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex SiC Coated PSS Etching Carrier conceput special pentru aceste aplicații solicitante de echipamente de epitaxie. Produsele noastre au un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Nu numai pentru fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxie sau MOCVD, sau procesare de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea, Semicorex furnizează suport de gravat PSS acoperit cu SiC ultrapur, utilizat pentru a susține plachetele. În gravarea cu plasmă sau gravarea uscată, acest echipament, susceptori de epitaxie, platforme de clătite sau satelit pentru MOCVD, sunt mai întâi supuse mediului de depunere, astfel încât are rezistență ridicată la căldură și coroziune. Purtătorul de gravat PSS acoperit cu SiC are, de asemenea, o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.

Purtătorii de gravare PSS acoperiți cu SiC (Substrat cu model de safir) sunt utilizați la fabricarea dispozitivelor cu LED (diodă emițătoare de lumină). Purtătorul de gravare PSS servește ca substrat pentru creșterea unui film subțire de nitrură de galiu (GaN) care formează structura LED. Purtătorul de gravare PSS este apoi îndepărtat din structura LED-ului folosind un proces de gravare umedă, lăsând în urmă o suprafață modelată care îmbunătățește eficiența extracției luminii a LED-ului.

Parametrii suportului de gravat PSS acoperit cu SiC

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structură cristalină	faza FCC ²
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Marimea unui bob	Î¼m	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J·kg-1·K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT 4 puncte)	415
Modulul Young	Gpa (îndoire 4 pt, 1300â)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristici ale suportului de gravare PSS acoperit cu SiC de înaltă puritate

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.

- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.

- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.

- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.