Componenta ICP acoperită cu SiC de la Semicorex este proiectată special pentru procesele de manipulare a plachetelor la temperatură înaltă, cum ar fi epitaxie și MOCVD. Cu o acoperire fină de cristal SiC, suporturile noastre oferă rezistență superioară la căldură, uniformitate termică și rezistență chimică durabilă.
Componenta ICP acoperită cu SiC de la Semicorex este alegerea de top pentru procesele de manipulare a plachetelor care necesită rezistență chimică și la temperaturi ridicate. Purtătorii noștri oferă profile termice uniforme, modele de flux laminar de gaz și previn contaminarea sau difuzia impurităților datorită cristalului nostru fin de SiC. Cu o acoperire fină de cristal SiC, suporturile noastre oferă rezistență superioară la căldură, uniformitate termică și rezistență chimică durabilă.
La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de produse de înaltă calitate, rentabile clienților noștri. Componenta noastră ICP acoperită cu SiC are un avantaj de preț și este exportată pe multe piețe europene și americane. Ne propunem să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de calitate consistentă și servicii excepționale pentru clienți.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre componenta noastră ICP acoperită cu SiC.
Parametrii componentei ICP acoperite cu SiC
Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC |
||
Proprietăți SiC-CVD |
||
Structura de cristal |
faza FCC β |
|
Densitate |
g/cm³ |
3.21 |
Duritate |
Duritatea Vickers |
2500 |
Dimensiunea boabelor |
μm |
2~10 |
Puritatea chimică |
% |
99.99995 |
Capacitatea termică |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de sublimare |
℃ |
2700 |
Forța felexurală |
MPa (RT în 4 puncte) |
415 |
Modulul tinerilor |
Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃) |
430 |
Expansiune termică (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivitate termică |
(W/mK) |
300 |
Caracteristicile componentei ICP acoperite cu SiC
- Evitați decojirea și asigurați acoperirea pe toată suprafața
Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate: stabil la temperaturi ridicate de până la 1600°C
Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori CVD în condiții de clorinare la temperatură ridicată.
Rezistență la coroziune: duritate mare, suprafață densă și particule fine.
Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
- Obțineți cel mai bun model de flux de gaz laminar
- Garantează uniformitatea profilului termic
- Preveniți orice contaminare sau difuzia impurităților