Inelele de focalizare durabile Semicorex pentru procesarea semiconductoarelor sunt proiectate pentru a rezista la mediile extreme ale camerelor de gravare cu plasmă utilizate în procesarea semiconductoarelor. Inelele noastre de focalizare sunt realizate din grafit de înaltă puritate acoperit cu un strat dens, rezistent la uzură, cu carbură de siliciu (SiC). Acoperirea SiC are proprietăți ridicate de rezistență la coroziune și căldură, precum și o conductivitate termică excelentă. Aplicăm SiC în straturi subțiri pe grafit folosind procesul de depunere chimică în vapori (CVD) pentru a îmbunătăți durata de viață a inelelor noastre de focalizare.
Citeşte mai multTrimite o anchetă