Tava de gravare cu plasmă ICP de la Semicorex este concepută special pentru procesele de manipulare a plachetelor la temperatură înaltă, cum ar fi epitaxie și MOCVD. Cu o rezistență stabilă la oxidare la temperatură înaltă de până la 1600°C, suporturile noastre oferă profile termice uniforme, modele de flux laminar de gaz și previn contaminarea sau difuzia impurităților.
Citeşte mai multTrimite o anchetă