Butoiul susceptor acoperit cu SiC de la Semicorex pentru camera reactorului LPE este o soluție extrem de fiabilă pentru procesele de fabricație a semiconductoarelor, având o distribuție superioară a căldurii și proprietăți de conductivitate termică. De asemenea, este foarte rezistent la coroziune, oxidare și temperaturi ridicate.
Citeşte mai multTrimite o anchetă