Structura mandrinei electrostatice (ESC)

UnMandrină electrostatică (ESC)este un dispozitiv folosit pentru a menține plăcile semiconductoare pe loc în timpul proceselor precum gravarea, depunerea sau lustruirea. Funcționează prin generarea unui câmp electrostatic pentru a atrage și ține în siguranță napolitana pe suprafața mandrinei, oferind stabilitate și aliniere precisă în timpul manipulării plachetei. ESC-urile sunt utilizate pe scară largă în producția de semiconductori pentru a îmbunătăți acuratețea procesului și eficiența manipulării plachetelor.

Imaginea reală a unui convenționalmandrina electrostatica (ESC)este reprezentat în figură. Diferența principală dintre modele constă în materialul stratului izolator de pe suprafața mandrina electrostatică. În figură, culoarea închisă reprezintă nitrura de aluminiu, în timp ce culoarea albă reprezintă oxidul de aluminiu. Structura luimandrina electrostaticaconstă din mai multe părți:

1. **Strat izolator**: Acest strat este în contact cu napolitana, realizată de obicei din nitrură de aluminiu sau ceramică cu oxid de aluminiu datorită rezistenței mecanice excelente, rezistenței la temperaturi ridicate și conductibilității termice bune.

2. **Știftul ejectorului și orificiul pentru gaz He**: știftul ejectorului este proiectat pentru a transfera napolitana. Când placheta intră în camera de gravare, știftul ejectorului se ridică pentru a o susține și apoi coboară pentru a plasa placheta pe suprafața mandrina electrostatică. Știftul ejector are de obicei o structură goală, permițând introducerea gazului heliu pentru a ajuta la răcirea plachetei.

3. **Back He Flow Channel**: Această componentă îmbunătățește disiparea căldurii și facilitează adsorbția plachetei.

4. **Electrod electrostatic**: Acest electrod generează un câmp electric care creează forța electrostatică necesară pentru a menține napolitana pe loc. De obicei, electrodul este plan și este fie încorporat în materialul izolator, fie depus pe acesta. Materialele conductoare utilizate în mod obișnuit includ aluminiul, cuprul și wolfram.

5. **Apă de răcire în circulație și electrod de încălzire**: Aceste elemente sunt responsabile în primul rând pentru controlul general al temperaturii mandrinei electrostatice. Electrodul de încălzire și apa de răcire circulantă funcționează în tandem pentru a menține o temperatură stabilă pentru napolitană. Bazându-vă exclusiv pe apa de răcire în circulație poate duce la incapacitatea de a gestiona căldura generată în timpul procesului de gravare, compromițând potențial stabilitatea procesului.  

Semicorex oferă calitate înaltăMandrină electrostatică (ESC). Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.

Numărul de telefon de contact +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com