Ce este gravarea cu plasmă la temperatură joasă?

Plasma este a patra stare a materiei și joacă un rol crucial atât în ​​aplicațiile industriale, cât și în fenomenele naturale. De exemplu, plasma este prezentă în fulgere și este generată din abundență pe suprafața soarelui, unde temperatura centrală atinge uluitoare 13.500°C. Această plasmă la temperatură înaltă nu este potrivită pentru majoritatea proceselor de producție industrială.

Pe de altă parte, plasma la temperatură joasă este o formă creată artificial de plasmă care utilizează energie, mai degrabă decât căldură, pentru a accelera reacțiile chimice. Temperatura sa variază de obicei de la temperatura camerei la câteva sute de grade Celsius, ceea ce îl face extrem de eficient pentru diverse aplicații.

Pași pentru a genera plasmă artificială:

1. Reduceți presiunea în cameră: Începeți prin utilizarea unei pompe de vid pentru a reduce presiunea în cavitate. Obținerea presiunii scăzute este esențială pentru stabilizarea plasmei și facilitarea ionizării gazului.

2. Introduceți gazul de proces: injectați gazele de proces specifice în cavitate. Aceste gaze servesc ca sursă primară de particule în plasmă.

3. Excitați plasma: aplicați putere pentru a ioniza gazul, formând eficient plasmă.

4. Dezactivați plasma și restabiliți presiunea atmosferică: Odată ce reacțiile dorite sunt complete, opriți plasma și readuceți camera la presiunea atmosferică.

Aplicații ale plasmei la temperatură joasă în fabricarea semiconductoarelor:

Plasma la temperatură joasă este indispensabilă în fabricarea semiconductoarelor, având funcții critice în gravarea uscată, depunerea fizică în vapori (PVD), depunerea chimică în vapori (CVD), depunerea stratului atomic (ALD), implantarea ionică, cenușa și detectarea punctului final. Versatilitatea și eficiența sa îl fac un instrument fundamental în industrie.

Oferte Semicorexsoluții de înaltă calitate pentru gravarea cu plasmă. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.

Numărul de telefon de contact +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com