Grafit poros pentru creșterea cristalelor de SiC

În prezent, majoritatea producătorilor de substraturi SiC folosesc un nou design de proces de câmp termic al creuzetului cu cilindri de grafit poros: plasarea materiilor prime de particule de SiC de înaltă puritate între peretele creuzetului de grafit și cilindrul de grafit poros, adâncind în același timp întreg creuzetul și mărind diametrul creuzetului. Avantajul este că, în timp ce volumul de încărcare crește, crește și aria de evaporare a materiilor prime. Noul proces rezolvă problema defectelor cristalului, cauzate de recristalizarea părții superioare a materiei prime pe măsură ce creșterea progresează pe suprafața materialului sursă, afectând fluxul materialului de sublimare. Noul proces reduce, de asemenea, sensibilitatea distribuției temperaturii în zona materiei prime la creșterea cristalelor, îmbunătățește și stabilizează eficiența transferului de masă, reduce impactul incluziunilor de carbon în etapele ulterioare de creștere și îmbunătățește și mai mult calitatea cristalelor de SiC. Noul proces folosește, de asemenea, o metodă de fixare a suportului de cristal fără semințe care nu se lipește de cristalul sămânță, permițând expansiunea termică liberă și favorizantă pentru ameliorarea stresului. Acest nou proces optimizează câmpul termic și îmbunătățește foarte mult eficiența expansiunii diametrului.

Calitatea și randamentul monocristalelor de SiC obținute prin acest nou proces depind în mare măsură de proprietățile fizice ale grafitului de creuzet și ale grafitului poros. Cererea urgentă de grafit poros de înaltă performanță nu numai că face grafitul poros extrem de scump, dar provoacă și o penurie serioasă pe piață.

Cerințe de bază de performanță alegrafit poros

(1) Distribuția adecvată a dimensiunii porilor;

(2) Porozitate suficient de mare;

(3) Rezistență mecanică care îndeplinește cerințele de prelucrare și utilizare.

Semicorex oferă calitate înaltăgrafit porospărți. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.

Numărul de telefon de contact +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com