Ce este o barcă SiC și care sunt diferitele sale procese de fabricație?

1. Diferitele procese de fabricație aleBarcă SiC

(1) Acoperirea unui strat defilm SiCpe suprafata grafituluibărci de cristalprin CVD

Acest tip de barcă are un miez de grafit, care este prelucrat dintr-o singură bucată. In orice caz,grafitul este porosși predispuse la generarea de particule, necesitând aplicarea aAcoperire cu film SiCpe suprafata ei. Datorită nepotrivirii în coeficientul de dilatare termică (CTE) dintre corpul de grafit șifilm SiC, acoperirea este probabil să se dezlipească după mai multe cicluri de încălzire și răcire, ceea ce duce la contaminarea cu particule. Aceste bărci sunt cele mai puțin costisitoare și au o durată de viață de aproximativ un an.

(2) Acoperirea unui strat defilm SiCpe recristalizatBarci de cristal SiC

Recristalizatbărci SiCsunt de asemenea poroase și pot genera cu ușurință particule. Prin urmare, componentele individuale ale recristalizatebărci SiCtrebuie preformat, sinterizat și apoi prelucrat separat. Ulterior, componentele sunt lipite împreună la temperaturi ridicate folosind pastă de Si. Odată asamblat într-o singură barcă, afilm SiCse aplică prin CVD. Aceasta s-a recristalizatbarca SiCare cel mai lung proces de fabricație și este costisitor, dar la suprafațăAcoperire CVDpoate fi, de asemenea, deteriorat, cu o durată de viață de aproximativ trei ani.

(3)MonoliticBarci de cristal SiC

Acestebărcisunt compuse în întregime din material SiC. Pulberea de SiC trebuie turnată și sinterizată în forma unei bărci monolitice. Extrem de costisitoare, sunt foarte durabile și mai puțin probabil să genereze particule. Cu toate acestea, aceste bărci conțin 10-15% siliciu liber, care este susceptibil la eroziune de fluor și clor, ceea ce duce la contaminarea cu particule.

2. De ce nu este recomandată curățarea chimică?

Pe scurt, pentrubărci SiCacoperit cu aFilm SiC prin CVD, acoperirea suprafeței este predispusă la exfoliere în timpul curățării uscate, ceea ce provoacă contaminarea cu particule. Pentru monoliticbărci SiCcare conțin o cantitate mică de siliciu liber, expunerea la gaze care conțin fluor sau clor poate duce la eroziune și generarea de particule, provocând astfel contaminare.**