Acasă > Produse > Acoperit cu carbură de siliciu > ICP Etching Carrier > Plasmă cuplată inductiv (ICP)
Plasmă cuplată inductiv (ICP)

Plasmă cuplată inductiv (ICP)

Susceptorul Semicorex acoperit cu carbură de siliciu pentru plasmă cuplată inductiv (ICP) este proiectat special pentru procesele de manipulare a plachetelor la temperatură înaltă, cum ar fi epitaxie și MOCVD. Cu o rezistență stabilă la oxidare la temperatură înaltă de până la 1600°C, purtătorii noștri asigură profile termice uniforme, modele de flux laminar de gaz și previn contaminarea sau difuzia impurităților.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Aveți nevoie de un suport de napolitană care să poată face față la temperaturi înalte, medii chimice dure? Nu căutați mai departe decât susceptorul Semicorex acoperit cu carbură de siliciu pentru plasmă cuplată inductiv (ICP). Suporturile noastre au o acoperire fină de cristal SiC care oferă rezistență superioară la căldură, uniformitate termică și rezistență chimică durabilă.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre susceptorul nostru SiC pentru plasmă cuplată inductiv (ICP).


Parametrii susceptorului pentru plasma cuplată inductiv (ICP)

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC

Proprietăți SiC-CVD

Structură cristalină

faza FCC ²

Densitate

g/cm³

3.21

Duritate

Duritatea Vickers

2500

Marimea unui bob

μm

2~10

Puritatea chimică

%

99.99995

Capacitatea termică

J·kg-1·K-1

640

Temperatura de sublimare

2700

Forța felexurală

MPa (RT 4 puncte)

415

Modulul Young

Gpa (îndoire 4 pt, 1300â)

430

Expansiune termică (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conductivitate termică

(W/mK)

300


Caracteristici ale susceptorului acoperit cu carbură de siliciu pentru plasmă cuplată inductiv (ICP)

- Evitați decojirea și asigurați acoperirea pe toată suprafața

Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate: stabil la temperaturi ridicate de până la 1600°C

Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori CVD în condiții de clorinare la temperatură ridicată.

Rezistență la coroziune: duritate mare, suprafață densă și particule fine.

Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.

- Obțineți cel mai bun model de flux laminar de gaz

- Garantează uniformitatea profilului termic

- Preveniți orice contaminare sau difuzia impurităților





Hot Tags: Plasmă cuplată inductiv (ICP), China, Producători, Furnizori, Fabrică, Personalizată, Vrac, Avansat, Durabil

Categorie aferentă

Trimite o anchetă

Vă rugăm să nu ezitați să trimiteți întrebarea dvs. în formularul de mai jos. Vă vom răspunde în 24 de ore.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept