Mandrina electrostatica Mandrina E

Mandrină electrostatică Semicorex E-Chuck funcționează pe principiile atracției electrostatice, oferind o reținere fiabilă și precisă a plachetelor fără a fi nevoie de cleme mecanice sau de aspirație cu vid, utilizat în special în gravare, implicare ionică.

antation, PVD, CVD, etc prelucrare semiconductoare. Dimensiunile sale personalizabile îl fac adaptabil la o gamă largă de aplicații, făcându-l o alegere ideală pentru companiile care caută flexibilitate și eficiență în procesele de fabricare a semiconductoarelor.

Tehnologia fundamentală din spatele mandrinei electrostatice de tip J-R E-Chuck este capacitatea sa de a genera o forță electrostatică între napolitană și suprafața mandrinei. Această forță este creată prin aplicarea unei tensiuni înalte electrozilor încorporați în mandră, care induce sarcini atât pe placă, cât și pe mandră, creând astfel o legătură electrostatică puternică. Acest mecanism nu numai că ține placa în siguranță, ci și minimizează contactul fizic dintre plachetă și mandrina, reducând contaminarea potențială sau stresul mecanic care ar putea deteriora materialele semiconductoare sensibile.

Semicorex poate produce produse personalizate, de la 200 mm la 300 mm sau chiar mai mari, in functie de cerintele clientilor. Oferind aceste opțiuni personalizabile, ESC de tip J-R oferă flexibilitate maximă pentru o serie de procese semiconductoare, inclusiv gravarea cu plasmă, depunerea chimică în vapori (CVD), depunerea fizică în vapori (PVD) și implantarea ionică.

În ceea ce privește materialele, mandrina electrostatică E-Chuck este fabricată din materiale ceramice de înaltă calitate, cum ar fi alumina (Al2O3) sau nitrura de aluminiu (AlN), care sunt cunoscute pentru proprietățile lor dielectrice excelente, rezistența mecanică și stabilitatea termică. Aceste ceramice oferă mandrina durabilitatea necesară pentru a rezista la condițiile dure ale producției de semiconductori, cum ar fi temperaturile ridicate, mediile corozive și expunerea la plasmă. În plus, suprafața ceramică este lustruită la un grad ridicat de netezime pentru a asigura un contact uniform cu napolitana, sporind forța electrostatică și îmbunătățind performanța generală a procesului.

Mandrina electrostatică E-Chuck este, de asemenea, proiectată pentru a face față provocărilor termice întâlnite în mod obișnuit în fabricarea semiconductoarelor. Gestionarea temperaturii este esențială în timpul proceselor precum gravarea sau depunerea, unde temperatura plachetei poate fluctua rapid. Materialele ceramice utilizate în mandrina asigură o conductivitate termică excelentă, ajutând la disiparea eficientă a căldurii și la menținerea unei temperaturi stabile a plachetei.

Mandrina electrostatică E-Chuck este proiectată cu accent pe reducerea la minimum a contaminării cu particule, care este esențială în fabricarea semiconductorilor, unde chiar și particulele microscopice pot duce la defecte în produsul final. Suprafața ceramică netedă a mandrinei reduce probabilitatea de aderență a particulelor, iar contactul fizic redus dintre plachetă și mandră, datorită mecanismului de prindere electrostatic, scade și mai mult riscul de contaminare. Unele modele ale ESC de tip J-R încorporează, de asemenea, acoperiri de suprafață avansate sau tratamente care resping particulele și rezistă la coroziune, sporind longevitatea și fiabilitatea mandrinei în mediile camerelor curate.

În rezumat, mandrina electrostatică de tip J-R E-Chuck este o soluție versatilă și fiabilă de susținere a plăcilor care oferă performanțe excepționale într-o gamă largă de procese de fabricație a semiconductoarelor. Designul său personalizabil, tehnologia avansată de reținere electrostatică și proprietățile robuste ale materialului îl fac alegerea ideală pentru companiile care doresc să optimizeze manipularea plachetelor, păstrând în același timp cele mai înalte standarde de curățenie și precizie. Indiferent dacă este utilizat în gravarea cu plasmă, depunere sau implantare ionică, ESC de tip J-R oferă flexibilitatea, durabilitatea și eficiența necesare pentru a satisface nevoile exigente ale industriei semiconductoare de astăzi. Cu capacitatea sa de a funcționa atât în ​​modurile Coulomb, cât și în modul Johnsen-Rahbek, de a face față la temperaturi ridicate și de a rezista la contaminarea cu particule, ESC de tip J-R este o componentă critică în căutarea unor randamente mai mari și rezultate îmbunătățite ale procesului.