Încălzitoare de nitrură din aluminiu

Încălzitoarele de nitrură din aluminiu semicorex sunt elemente de încălzire ceramică de ultimă generație, concepute pentru aplicații care necesită o conductivitate termică ridicată, izolație electrică și o durabilitate excepțională. Proiectate din ceramica cu nitrură din aluminiu, aceste încălzitoare oferă încălzire rapidă și uniformă, ceea ce le face ideale pentru medii de înaltă precizie, cum ar fi procesarea semiconductorilor, diagnosticul medical și instrumentarea analitică avansată.

Încălzitoarele de nitrură din aluminiu sunt componente cheie în echipamentele de depunere a filmului subțire cu semiconductor. Acestea sunt aplicate direct în camera de proces și în contact direct cu placa. Nu numai că poartă placa, dar se asigură și că placa obține un 

Temperatura procesului stabil și uniform. Această caracteristică este esențială pentru reacțiile de înaltă precizie pe suprafața plafonului și pentru generarea de filme subțiri uniforme.

De obicei, încălzitoarele de nitrură din aluminiu includ un substrat ceramic cu o suprafață de încărcare a plafonului și un corp de sprijin cilindric care îl susține pe spate. În plus față de un circuit de încălzire rezistiv pentru încălzire, un electrod RF și un electrod electrostatic de much și alte conductoare sunt, de asemenea, furnizate în interiorul sau pe suprafața substratului ceramic.

Echipamentul de depunere a filmului subțire folosește de obicei materiale ceramice bazate peNitru de aluminiu (ALN)Pentru că implică un mediu la temperaturi ridicate. Motivul pentru care încălzitoarele de azot din aluminiu sunt favorizate în fabricarea semiconductorilor se datorează în principal proprietăților lor fizice și chimice unice. Nitrita de aluminiu nu numai că are o conductivitate termică ridicată și poate obține încălzire și răcire rapidă într -un timp scurt, dar are și o izolare electrică bună și o rezistență mecanică, asigurând stabilitatea și fiabilitatea încălzitorului. În plus, coeficientul de expansiune termică a nitrurii de aluminiu este similar cu cel al siliciului, care ajută la reducerea impactului tensiunii termice asupra plafonului și la îmbunătățirea randamentului procesului.

În general vorbind,Încălzitoare ceramicăsunt utilizate în principal în echipamentele de depunere a filmului subțire. Deoarece implică procese de temperatură ridicată, materialul ceramic utilizat este în principal nitrură de aluminiu; Chuck -urile electrostatice sunt utilizate în principal în echipamentele de gravare, iar materialul ceramic utilizat este în principal oxid de aluminiu. Odată cu dezvoltarea tehnologiei semiconductoare, există o suprapunere între încălzitoarele ceramice și muchii electrostatice. De exemplu, încălzitoarele ceramice utilizate în echipamentele de depunere a filmelor subțiri sunt echipate cu muchii electrostatice, care au funcții duale de încălzire la temperatură ridicată și adsorbție electrostatică. Muchele electrostatice utilizate în echipamentele de gravare încep, de asemenea, să implice procese de temperatură ridicată, iar materialul ceramic trebuie schimbat de la oxid de aluminiu la nitrură de aluminiu.