Barci verticale cu napolitană de cuarț

În procesele de fabricație a semiconductoarelor, componentele semiconductoare din camera de reacție trebuie să îndeplinească standarde stricte de curățenie. În caz contrar, chiar și impuritățile sau contaminanții la scară micro sau nanometrică pot provoca daune ireversibile performanței și randamentului dispozitivelor semiconductoare.

Bărci cu napolitană de cuarțsunt instalate în mod obișnuit vertical în camere de reacție la temperatură înaltă, cum ar fi cuptoarele de difuzie, cuptoarele de oxidare și cuptoarele de recoacere, unde trebuie să fie în contact direct cu plachetele. Barcile verticale de cuarț Semicorex sunt fabricate din materiale de cuarț de înaltă puritate pentru a satisface aceste cerințe de curățenie ridicată. Această selecție înțeleaptă a materialului evită în mod eficient contaminarea plachetelor cauzată de reactanții eliberați din barcile de napolitane în timpul procesului de fabricație.

În producția de semiconductori, bărcile napolitane trebuie nu numai să sufere cicluri repetate de încălzire-răcire, ci și să reziste la coroziunea gazelor de proces pe o perioadă lungă de timp. Cuarțul vertical al SemicorexnapolitanaBărcile prezintă o stabilitate dimensională excepțională în condițiile dificile de funcționare ale ciclului termic constant datorită stabilității lor termice inerente. Aceste proprietăți termice superioare previn în mod semnificativ deformarea și deteriorarea plachetelor cauzate de degradarea preciziei sau deformarea structurală a barcilor verticale de cuarț. În plus, datorită inerției lor chimice ridicate, barcile verticale cu napolitană de cuarț pot fi rezistente la reacția cu gaze corozive precum oxigenul, vaporii de apă, clorura de hidrogen și amoniacul. Această proprietate reduce foarte mult posibilitatea ca coroziunea chimică să compromită integritatea structurală a bărcilor verticale de cuarț.

Pe lângă avantajele de performanță menționate mai sus, bărcile verticale cu napolitană de cuarț de la Semicorex demonstrează, de asemenea, o competitivitate excelentă în ceea ce privește precizia dimensională și designul structural. Fiecare parte a acestora este fabricată prin tehnici de prelucrare de precizie. Acest control dimensional precis asigură poziționarea precisă a plachetelor, minimizând zgârieturile și fisurile cauzate de deplasări sau coliziuni în timpul încărcării, procesării și descărcării.