Casete de teflon

Casetele de teflon semicorex sunt purtători de napolitane de înaltă performanță special concepute pentru a fi utilizate în medii chimice solicitante, unde puritatea, rezistența chimică și stabilitatea termică sunt esențiale. Fabricate din politetrafluoroetilen de înaltă puritate (PTFE), aceste casete sunt utilizate pe scară largă la fabricarea semiconductorilor, gravură umedă, curățare chimică și alte aplicații în care expunerea la substanțe chimice extrem de agresive este de rutină. Natura lor ne-reactivă le face ideale pentru manipularea substraturilor delicate, cum ar fi napolitane de siliciu, panouri de sticlă și alte componente de precizie, fără a introduce contaminarea sau particulele în proces.

În diferite procese de fabricare a semiconductorilor, cum ar fi litografia, gravura și implantarea ionică, casetele joacă un rol în transportul și transferul de napolitane între diferite dispozitive. Diferite echipamente de proces pot avea cerințe de interfață diferite pentru casete pentru a se asigura că purtătorii de wafer pot fi primiți și plasați cu exactitate.

Din perspectiva materialului și a designului, materialele rezistente la căldură, au proprietăți mecanice excelente, stabilitate dimensională și sunt, în general, durabile, anti-statice, scăzute, precipitații mici și reciclabile. Diferite dimensiuni de plafon, noduri de proces și procese folosesc diferite materiale. Materialele generale sunt PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, etc.

Casetele de teflon oferă o rezistență chimică superioară în medii folosind acid hidrofluoric, acid azotic, acid sulfuric și alte corozive puternice. Spre deosebire de materialele convenționale precum polipropilena sau oțelul inoxidabil, PTFE nu se degradează; nu se umflă; Nu se scurge substanțe în băi chimice dure. Prin urmare, performanța este garantată pe perioade lungi și, prin urmare, fiabilitatea casetelor pentru liniile de producție cu un randament ridicat și medii ultra-curată. Robustetea sa înseamnă nevoile de întreținere mai mici și frecvența de înlocuire, reducând astfel costurile de operare pe termen lung.

Casetele de teflon demonstrează o stabilitate termică foarte mare. Acestea pot rezista cu ușurință la temperaturi de la -200 ° C până la +260 ° C, aplicabile pentru procese criogene, precum și pentru procese de temperatură ridicată. Chiar așezate în camere de uscare încălzite sau băi chimice reci, casetele nu își pierd rezistența structurală; Ei nu se deformează sau nu se crăpa, asigurându -se că napolitarii vor rămâne în siguranță în timpul procesării. Această rezistență a temperaturii contribuie semnificativ la controlul procesului și uniformității, care sunt esențiale pentru fabricarea semiconductorului și a MEMS.

O caracteristică la fel de importantă a casetelor de teflon este suprafața sa inertă și antiaderentă. PTFE în mod inerent nu permite adsorbția particulelor și reziduurilor chimice, reducând, prin urmare, riscurile de contaminare în mediile camere curate. Aceasta trebuie să fie cuplată cu un finisaj neted de suprafață care permite clătirea ușoară și uscarea rapidă, astfel rezultatele mai curate și rezultatele mai rapide ale ciclului. În procesarea semiconductorilor, unde defectele pot fi cauzate chiar de contaminanți microscopici, acest nivel de curățenie și inerție chimică este obligatoriu.

Fiecare casetă este făcută cu exactitate la toleranțele de dimensiuni strânse, garantând alinierea și distanțarea constantă a plafonului, în timp ce este mutat și plasat în lichid. Forma lor ușor proiectată ajută la fluxul și drenajul chimic rapid, ceea ce accelerează ratele de schimb chimice și îmbunătățește curățarea sau gravarea uniformității pe suprafața plafonului.  Casetele sunt disponibile în dimensiuni standard pentru napolitane de 4 inci, 6 inci și 8 inch, cu opțiuni de personalizare disponibile pentru a se potrivi cu dimensiuni specifice ale substratului, număr de sloturi și cerințe de manipulare.

Proiectate pentru compatibilitate cu bănci umede automate și sisteme robotizate de manipulare a plafonilor, casetele de teflon se integrează ușor în majoritatea setărilor de producție de semiconductori. Construcția lor robustă și finisajul de calitate curată îndeplinesc cerințele stricte ale mediilor certificate ISO. Toate casetele suferă o inspecție minuțioasă și sunt pre-curățate în apă ultra-pură pentru a respecta standardele de curățenie necesare pentru producția avansată de microelectronică. Pot fi furnizate certificate de conformitate și trasabilitate materială completă pentru a asigura respectarea protocoalelor de asigurare a calității.