Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere în vapori chimici (CVD).
Carbura de tantal (TaC) este un compus care constă din tantal și carbon. Are conductivitate electrică metalică și un punct de topire excepțional de ridicat, ceea ce îl face un material ceramic refractar cunoscut pentru rezistența, duritatea și rezistența sa la căldură și uzură. Punctul de topire al carburilor de tantal atinge un vârf la aproximativ 3880°C, în funcție de puritate și are unul dintre cele mai înalte puncte de topire dintre compușii binari. Acest lucru îl face o alternativă atractivă atunci când cerințele de temperatură mai ridicate depășesc capacitățile de performanță utilizate în procesele epitaxiale semiconductoare compuși, cum ar fi MOCVD și LPE.
Datele materiale ale Semicorex TaC Coating
Proiecte |
Parametrii |
Densitate |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivitate |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Duritate (HK) |
2000 |
Rezistență (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitate termică |
<2500℃ |
Schimbarea dimensiunii grafitului |
-10~-20um (valoare de referință) |
Grosimea acoperirii |
≥20um valoare tipică (35um±10um) |
|
|
Cele de mai sus sunt valori tipice |
|
Piesele din grafit acoperit cu TaC Semicorex sunt componente realizate cu precizie care sunt special concepute pentru a rezista mediului exigent al procesării semiconductoarelor. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex TaC Coating Graphite Cover reprezintă o soluție de ultimă oră în domeniul aplicațiilor termice pentru creșterea cristalelor și procesele epitaxiale (epi). Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex TaC Coating Ring este o componentă esențială în domeniul creșterii monocristalelor în câmpul termic. Fabricat cu precizie și inovație, acest inel de ghidare specializat joacă un rol crucial în procesul complicat de producere a materialului monocristalin. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor este o componentă crucială utilizată în cuptoarele de depunere în vapori metalo-organici (MOCVD) pentru procesarea epitaxială a semiconductorilor (epi). Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăPlaca acoperită cu carbură de tantalu Semicorex TaC este o soluție de ultimă oră concepută pentru a satisface cerințele stricte ale producției de semiconductori, în special în etapa de procesare epitaxială (epi). Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex TaC Coated Guide Ring, un vârf al inovației în cuptoarele de creștere cu un singur cristal de SiC (Carbură de Siliciu). Proiectat meticulos pentru a satisface cerințele exigente ale industriei semiconductoarelor, acest inel de ghidare promite să vă redefinească procesele de creștere a cristalelor cu o precizie și fiabilitate de neegalat.
Citeşte mai multTrimite o anchetă