Susceptor de napolitană acoperit cu TaC

Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor este o componentă crucială utilizată în cuptoarele de depunere în vapori metalo-organici (MOCVD) pentru procesarea epitaxială a semiconductorilor (epi). Acest susceptor rotund specializat este fabricat din material grafit de înaltă calitate și are o acoperire unică de Carbură de Tantal (TaC).

Scopul principal al acoperirii cu TaC este de a îmbunătăți performanța și durabilitatea susceptorului de napolitan acoperit cu TaC în condițiile solicitante ale proceselor de fabricare a semiconductoarelor. Carbura de tantal este cunoscută pentru duritatea sa excepțională, punctul de topire ridicat și rezistența la uzură și coroziune. Aceste proprietăți fac din TaC Coated Wafer Susceptor o alegere ideală pentru protejarea susceptorului de grafit subiacent de reacțiile chimice și tensiunile fizice care apar în cuptorul MOCVD.

TaC Coated Wafer Susceptor joacă un rol vital în creșterea epitaxială a materialelor semiconductoare prin facilitarea depunerii peliculelor subțiri pe plachete. Capacitatea sa de a rezista la temperaturi ridicate și medii chimice dure este crucială pentru a obține o fabricație precisă și fiabilă a dispozitivelor semiconductoare.

Susceptorul de napolitană acoperit cu TaC, cu miezul său de grafit și acoperirea cu carbură de tantal, asigură o distribuție consistentă și uniformă a căldurii, contribuind la reproductibilitatea și calitatea straturilor semiconductoare crescute în timpul procesului MOCVD. Această combinație avansată de materiale o face o soluție fiabilă și durabilă pentru fabricarea semiconductoarelor, îndeplinind cerințele stricte ale producției moderne de dispozitive electronice.