Susceptor acoperit cu TaC

Semicorex TaC Coated Susceptor, realizat dintr-un material de bază de grafit, este acoperit cu carbură de tantal (TaC) pentru a-și îmbunătăți performanța și durabilitatea.

Carbura de tantal oferă o stabilitate termică excepțională, permițând susceptorului acoperit cu TaC să reziste la temperaturi extrem de ridicate întâlnite adesea în procese precum depunerea chimică în vapori (CVD) și depunerea fizică în vapori (PVD). Iar acoperirea TaC oferă rezistență superioară la reacții chimice, oxidare și coroziune, ceea ce este crucial pentru menținerea integrității și a performanței în medii chimice dure.

Proprietățile termice uniforme și stabile ale TaC Coated Susceptor îmbunătățesc consistența și calitatea proceselor în care sunt utilizate, conducând la randament și eficiență mai bune în fabricarea semiconductorilor.

Între timp, utilizarea TaC a susceptorului acoperit cu TaC minimizează riscul de contaminare în procesele semiconductoare, ceea ce este critic pentru producerea de componente electronice de înaltă puritate și fără defecte.

Aplicații ale susceptorului acoperit cu TaC:

Fabricarea semiconductoarelor: Utilizată în procesele CVD și PVD pentru a depune pelicule subțiri și straturi epitaxiale pe plachete semiconductoare.

Producția LED: Utilizată în producția de diode emițătoare de lumină (LED-uri) în care sunt necesare condiții termice precise și stabile.

Fabricarea celulelor solare: Folosit la fabricarea celulelor fotovoltaice pentru a spori eficiența și fiabilitatea.

Semicorex TaC Coated Susceptor este esențial în procesele avansate de fabricație în care sunt necesare stabilitate termică ridicată, rezistență chimică și durabilitate. Aplicația lor asigură performanțe îmbunătățite, longevitate și calitatea produsului în industriile de înaltă tehnologie.