Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv procesarea plachetelor și plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele ceramice SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la piese consumabile pentru echipamentele de procesare a napolitanelor, cum ar fi napolitană cu carbură de siliciu, palete cantilever, tuburi etc. pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu carbură de siliciu de înaltă puritate (SiC) care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Vâslă cantilever →
Cantilever Paddle este o componentă crucială utilizată în procesele de fabricație a semiconductoarelor, în special în cuptoarele de difuzie sau LPCVD în timpul proceselor precum difuzia și RTP.
Tub de proces →
Tubul de proces este o componentă crucială, proiectată special în diverse aplicații de procesare a semiconductoarelor, cum ar fi RTP, difuzie.
Barci cu napolitană →
Wafer Boat este folosită în procesarea semiconductoarelor, a fost proiectată meticulos pentru a se asigura că napolitanele delicate sunt păstrate în siguranță în etapele critice ale producției.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentele MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediul extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Semicorex are, de asemenea, produse ceramice din Alumină (Al2O3), Nitrură de Siliciu (Si3N4), Nitrură de Aluminiu (AIN), Zirconiu (ZrO2), Ceramică Compozită etc.
Mandul de vid din carbură de siliciu semicorex este o soluție de manipulare a plafonului de înaltă performanță realizată din carbură de siliciu poros. Este conceput special pentru adsorbția în vid a napolitanelor cu semiconductor în timpul proceselor critice, cum ar fi montarea (epilarea), subțierea, despicarea, curățarea, aplicarea și recoacerea termică rapidă (RTA). Alegeți semicorex pentru puritatea materialului de neegalat, precizie dimensională și performanțe fiabile în medii semiconductoare solicitante.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex Alumina Robot Arm este o componentă ceramică de înaltă performanță, proiectată pentru o manipulare precisă a waferului la fabricarea semiconductorilor. Forța sa superioară, izolația și stabilitatea termică o fac ideală pentru a solicita medii de automatizare a camerelor curate.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăEffectul final al ceramicii din alumină din semicorex este o componentă proiectată de precizie, concepută special pentru o manevrare fiabilă și fără contaminare, în fabricarea semiconductorilor și a aplicațiilor conexe.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex Porous SiC Chuck este un mand de vid ceramic de înaltă performanță, conceput pentru adsorbția sigură și uniformă a plafonului în procesarea semiconductorului. Structura sa micro-poroasă proiectată asigură o distribuție excelentă a vidului, ceea ce o face ideală pentru aplicații de precizie.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăMuchurile de vid semicorex SIC sunt elemente ceramice de înaltă performanță concepute pentru adsorbția securizată a waferului la fabricarea semiconductorilor. Cu proprietăți termice, mecanice și chimice superioare, asigură stabilitatea și precizia în mediile de proces solicitante.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎncălzitoarele compozite PBN Semicorex sunt elemente de încălzire avansate, proiectate pentru medii de vid cu temperatură ridicată, ultra-curățată, utilizate pe scară largă în industrii semiconductoare, optoelectronice și cercetări materiale. Alegeți semicorex pentru expertiză lider în industrie, personalizare a lotului mic și calitate de clasă mondială în soluții de încălzire PBN.*
Citeşte mai multTrimite o anchetă