Creuzete din grafit acoperite cu SiC

Instalat în centrul cuptoarelor de creștere a cristalelor la temperatură înaltă,creuzete de grafitCrezetele din grafit funcționează împreună cu încălzitoare, manșoane de izolare termică, tuburi de ghidare a fluxului și arbori de creuzet pentru a forma sistemul complet de câmp termic. Acest sistem de câmp termic poate menține un mediu stabil de temperatură ridicată, esențial pentru creșterea cristalelor.

Producția de acoperit cu SiCcreuzete de grafitde obicei, începe cu utilizarea tehnologiei avansate de depunere a vaporilor chimici pentru a depune uniform un denscarbură de siliciuacoperire pe suprafața substratului de grafit format. Compus din puritate ridicatăgrafitsubstrat și stratul dens de carbură de siliciu, creuzetul de grafit acoperit cu SiC formează o structură sinergică care combină conductivitatea termică a grafitului cu rezistența la coroziune a carburii de siliciu.

Metoda Czochralski este tehnica industrială universală pentru creșterea cristalelor. Această tehnică va exercita forța centrifugă asupra creuzetului în timpul producerii cristalului. Rezistența superioară la încovoiere și tenacitatea creuzetelor de grafit acoperite cu SiC pot preveni ruperea sau crăparea în timpul rotației de mare viteză, reducând eficient întreruperile producției cauzate de deteriorarea creuzetului. În plus, creuzetele trebuie să sufere fluctuații drastice de temperatură într-o perioadă scurtă de timp în timpul acestui proces. Datorită rezistenței lor remarcabile la șocuri termice, creuzetele de grafit acoperite cu SiC pot reduce daunele structurale legate de stresul termic, pot asigura stabilitatea formei lor, reducând astfel defectele de creștere a cristalelor cauzate de deformarea creuzetului.

La temperaturi ridicate, creuzetele de grafit acoperite cu SiC vor forma un strat protector dens de carbură de siliciu. Acest strat protector poate izola substratul de grafit de vaporii de siliciu și siliciul topit, reducând astfel la minimum coroziunea substratului de grafit și riscurile de contaminare cu cristale asociate cu decojirea acoperirii. Prin urmare, creuzetele de grafit acoperite cu SiC de la Semicorex pot rezista la diverse medii complexe de coroziune la temperatură ridicată pentru perioade lungi de funcționare efectivă. Acest lucru asigură o compoziție consistentă a cristalului și reduce ratele defectelor, ambele fiind esențiale pentru producerea de cristale semiconductoare de înaltă calitate.