Crucible cuarț cu semiconductor

Cruciabilele de cuarț cu semicorex cu semicorex sunt produse consumabile în industria semiconductorilor, special pentru cruculele de cuarț utilizate în procesul de tragere a cristalelor de fabricare a unui singur cristal de siliciu. Acestea sunt fabricate din cuarț fuzionat ultra-pure, care satisfac curățenia, omogenitatea și rezistența la căldură și sunt fabricate pentru a răspunde cerințelor mari ale producției moderne de semiconductori. Ele sunt vitale pentru specificația lingourilor de siliciu, deoarece atributele lor au impact direct asupra performanței și randamentului plafonului în procesarea integrată a circuitului.

Din punct de vedere termic și fizic: Cruciabilele de cuarț pot rezista foarte bine la căldură. Punctul de deformare este de aproximativ 1100 ° C, punctul de înmuiere este de aproximativ 1730 ° C, iar temperatura maximă a serviciului continuu este de 1100 ° C, [expunere pe termen scurt până la 1450 ° C]. Aceste proprietăți permit capacitatea de utilizare la temperaturi ridicate, oferind în același timp o puritate ridicată și rezistență termică și, prin urmare, promovează stabilitatea în timpul proceselor de tracțiune a cristalului Czochralski (CZ), unde contaminarea și deformarea trebuie să fie minimizate, iar profilurile termice precise sunt esențiale pentru obținerea creșterii cristale omogene.

Dintr -o perspectivă structurală, creuzetele de cuarț semiconductor constau dintr -o structură compozită stratificată concepută pentru proprietăți termice și rezistență mecanică. Stratul de pornire (care se deplasează spre interior) este un strat transparent de cuarț, care este, în general, o treime din grosimea peretelui (aproximativ 3-5 mm) și are un conținut de bule relativ scăzut (în funcție de tehnica de procesare) și, prin urmare, o suprafață netedă fără defecte va fi în contact cu contul de siliciu topit pentru creșterea cristalului).

Exteriorul este stratificat cu un nivel mai mare de bule care contribuie la rezistența de deformare a creuzetului, rezistență la stres termic mai mare și izolație termică de la sursa de căldură pentru uniformitatea radiațiilor. Straturile creuzetului îi permit să mențină forma și integritatea, în ciuda gradienților termici diferențiali de grad care există în procesul de tragere a cristalului.

Cruciabilele moderne de cuarț s-au dezvoltat în continuare decât structura tradițională cu două straturi din cauza progreselor în tehnologia de fabricație. Multe creuzete folosesc o structură cu trei straturi-un strat interior transparent, strat mijlociu transparent care are bule dispersate prin cuarț și un strat subțire exterior de cuarț bubuit. Structurile cu trei straturi oferă o rezistență mecanică mai bună, gestionarea termică și beneficiile costurilor și îmbunătățesc caracteristicile de transfer de căldură. De asemenea, unele creuzete aplică acoperiri ale ionilor de metal alcalin (de exemplu, soluții ionice de bariu) pe suprafața interioară sau utilizează cuarț sintetic de înaltă puritate în straturi specifice, pentru a ajuta la reducerea conținutului de oxigen, a epuiza puritățile și a îmbunătăți calitatea generală a cristalelor unice trase.

Cruciblurile de cuarț de fabricație pentru semiconductori sunt destinate să fie menținute la toleranțe stricte de control al calității la puritățile necesare, care este de obicei câteva părți pe miliard de impurități metalice. Materiile prime sunt selectate cu atenție și purificate pentru a îndepărta orice contaminanți. Acestea sunt formate la dimensiuni brute, cu un tratament termic adecvat aplicat, iar suprafața finisată pentru a aborda precizia dimensională, rezistența mecanică și curățenia. Procesul este orientat către asigurarea faptului că creuzetele vor rămâne fiabile, fiind supuse unei expuneri prelungite la temperaturi ridicate în medii chimice dure.

Performanța creuzetului de cuarț în producția de semiconductor influențează uniformitatea rețelei de cristal de siliciu, densitatea defectelor și oxigenul din lingou. Purități mari și creuzete de cuarț fără defecte, vor limita luxarea defectelor de cristal, vor îmbunătăți rata de randament și vor stabili capacitatea de a genera napolitane pentru a avansa geometriile dispozitivului. Dacă sunteți un producător de IC-uri de performanță HGH, siliciu de calitate fotovoltaică sau electronice de putere, selectarea și utilizarea cruciabilelor de cuarț de înaltă calitate este un element crucial pentru stabilirea și optimizarea performanței costurilor.

SemicorexCuarț semiconductorCrucibilele sunt un material auxiliar esențial pentru orice sistem de tragere a cristalelor de siliciu. Atributele unice ale purității, stabilității temperaturii ridicate și structurilor cu mai multe straturi proprii fac din acesta un material adecvat pentru susținerea rigorilor procesului de tragere CZ, oferind în același timp performanțe consistente și reproductibile. Pe măsură ce fabricarea semiconductorilor se îndreaptă către o integrare mai mare și toleranțe mai strânse, beneficiile semnificative cu valoare adăugată ale cruciblelor de cuarț proiectate de precizie vor genera o importanță mai mare pentru a permite și dezvolta tehnologii electronice de generație următoare.