Încălzitorul cu grafit semiconductor Semicorex este un dispozitiv de încălzire de înaltă eficiență realizat din grafit izostatic de înaltă calitate. Este utilizat pe scară largă în procesele de bază ale producției de semiconductori, cum ar fi câmpul termic al cuptoarelor de creștere a cristalelor, procesele de creștere epitaxiale, echipamente de implantare ionică, echipamente de gravare cu plasmă și producția de matrițe de sinterizare a dispozitivelor semiconductoare.
Semiconductorîncălzitor din grafiteste un dispozitiv avansat de încălzire realizat din material de grafit izostatic de înaltă puritate. Conductivitatea sa electrică și conductibilitatea termică excelentă asigură un control precis al temperaturii și o distribuție uniformă a căldurii pentru creșterea și prelucrarea materialelor semiconductoare. Când curentul electric trece prin încălzitor, acesta învinge rezistența electrică internă a grafitului, transformând energia electrică în căldură, ridicând temperatura grafitului și realizând încălzirea. Controlul precis al temperaturii poate fi realizat de obicei prin ajustarea intensității curentului electric și a rezistenței încălzitorului.
Semicorex este atent selectat de înaltă puritategrafit izostaticprezintă o conductivitate termică excelentă, permițându-i să transfere rapid și uniform căldura în fiecare colț al zonei de încălzire, prevenind eficient supraîncălzirea localizată.
În special, chiar și atunci când este expus la condiții de temperatură extrem de ridicată, cum ar fi ablația cu arc la temperaturi ultra-înalte, grafitul izostatic de înaltă puritate menține caracteristici fizice și chimice stabile. Căldura intensă ar determina în mod normal topirea, deformarea sau oxidarea materialelor, dar acest tip de grafit este capabil să reziste acestor schimbări. Acest lucru îl face bine potrivit pentru procesele la temperatură înaltă în producția de semiconductori, inclusiv tragere de siliciu monocristal și creșterea cristalelor de carbură de siliciu.
Încălzitorul din grafit cu semiconductor este caracterizat prin eficiență energetică. Nu necesită preîncălzire, atinge rapid temperatura setată și realizează economii notabile de energie în comparație cu încălzitoarele tradiționale. Eficiența sa ridicată de conversie termică reduce eficient consumul de energie, realizând conservarea energiei și reducerea consumului. În timpul funcționării, nu produce poluanți sau gaze de eșapament, respectând cerințele de mediu.
În plus, încălzitorul din grafit cu semiconductor are o durată lungă de viață. Grafitul izostatic de înaltă puritate le conferă rezistență mecanică superioară, rezistență puternică la coroziune și rezistență excelentă la șocuri termice. Sunt mai puțin sensibili la factori precum temperaturile ridicate și coroziunea chimică, permițând o durată de viață extinsă.