Descriere produs

Tubul cuptorului cu cuarț Semicorex, bărcile de napolitană, creuzetele de cuarț pentru creșterea unui singur cristal de siliciu sunt toate realizate din puritate ridicatămaterie de cuarțl. Cuarțul este utilizat pe scară largă în industria semiconductoarelor, cuarțul de înaltă puritate este consumabilul important în fabricarea plachetelor. Principala piață țintă a pieselor de cuarț în domeniul semiconductorilor este procesul de difuzie și gravare în fabricarea plachetelor, putând fi împărțită în două categorii principale: piese la temperatură înaltă și piese la temperatură joasă.

1. Piesele cu temperatură înaltă sunt tubul cuptorului de cuarț, barca de napolitană, suportul pentru barcă și etc. Ele trebuie să intre în contact direct sau indirect cu napolitana de siliciu în mediu la temperatură înaltă, sunt în principal realizate din material de sticlă de cuarț topit, produs prin procesare termică.

2. Piesele cu temperatură joasă sunt inele de cuarț în procesul de gravare și inclusiv casete, rezervoare de curățare în procesul de curățare. Sunt utilizate în principal în medii cu temperaturi scăzute, care sunt fabricate în principal din sticlă de cuarț topită, produsă prin prelucrare la rece.

Componentele din zona de temperatură înaltă sunt consumate mai repede, dar sunt utilizate în mod obișnuit în sistemele cu mai multe plachete (un purtător care conține mai multe plachete de siliciu), în timp ce componentele din zona de temperatură joasă sunt consumate mai lent, dar sunt utilizate în sisteme cu o singură placă (un purtător care conține o placă de siliciu); prin urmare, dimensiunea globală a pieței pentru ambele este relativ similară.

Cuptorul este zona în care napolitanele sunt supuse unui proces de încălzire la temperatură înaltă, constând din tub de cuptor de cuarț, reactor și mai multe încălzitoare, este aplicat pe scară largă în procesele de difuzie, oxidare, RTP în prelucrarea semiconductoarelor. Cuptorul este împărțit în principal în tipuri orizontale și verticale:. Într-un cuptor orizontal, napolitanele sunt plasate pe o barcă de cuarț, care, la rândul ei, este plasată pe un suport de SiC. Există, de asemenea, deflectoare adaptive în față și în spate. Purtătorul este împins în tubul cuptorului cu cuarț, iar napolitanele suferă reacția într-o zonă de temperatură constantă. Într-un cuptor vertical, napolitanele sunt plasate pe un turn de cuarț și apoi ridicate încet în tubul cuptorului de cuarț pentru procesare.

Datorită temperaturilor ridicate implicate în procesele de mai sus, pentru a preveni deformarea severă și prăbușirea tubului cuptorului de cuarț după o utilizare repetată și prelungită, în timpul producției trebuie utilizat un tub de cuptor de cuarț care este rezistent la deformare și colaps și are o durată de viață lungă.

Iată care sunt avantajelecuarţtub cuptor:

1. Rezistență la temperaturi ridicate. Sticla de cuarț are un punct de înmuiere de aproximativ 1730℃ și poate fi folosită pentru perioade lungi de timp la 1150℃, cu o temperatură maximă pe termen scurt care atinge 1450℃.

2. Rezistenta la coroziune. Cu excepția acidului fluorhidric, cuarțul de înaltă puritate reacționează cu greu chimic cu alte substanțe acide. La temperaturi ridicate, poate rezista la coroziune de la acid sulfuric, acid azotic, acid clorhidric, acva regia, săruri neutre, carbon și sulf. Rezistența sa la acizi este de 30 de ori mai mare decât cea a ceramicii și de 150 de ori mai mare decât cea a oțelului inoxidabil. Stabilitatea sa chimică, în special la temperaturi ridicate, este de neegalat de niciun alt material de inginerie.

3. Stabilitate termică bună. Cuarțul de înaltă puritate are un coeficient de dilatare termică extrem de scăzut și poate rezista la schimbări drastice de temperatură. Încălzirea cuarțului de înaltă puritate la aproximativ 1100 ℃ și apoi scufundarea în apă la temperatura camerei nu va provoca spargerea acestuia.

4. Performanță bună de transmisie a luminii. Cuarțul de înaltă puritate are performanțe bune de transmisie a luminii pe întregul spectru de la ultraviolet la infraroșu. Transmitanța luminii vizibile este peste 93%, iar în spectrul ultraviolet, transmisia maximă poate ajunge la peste 80%.

1. Piesele cu temperatură înaltă sunt tubul cuptorului de cuarț, barca de napolitană, suportul pentru barcă și etc. Ele trebuie să intre în contact direct sau indirect cu napolitana de siliciu în mediu la temperatură înaltă, sunt în principal realizate din material de sticlă de cuarț topit, produs prin procesare termică.