Transportatori PFA Wafer

Semicorex PFATransportatori de wafersunt purtători de înaltă performanță concepute pentru manipularea, depozitarea și transportul sigur de napolitane cu semiconductor într-un mediu ultra-curat. Fabricarea de semiconductori avansați asigură că purtătorii de napolitane PFA oferă o rezistență chimică de neegalat, stabilitatea termică și controlul particulelor din integritatea și curățenia napolitanelor în timpul fabricării până la testarea finală.

Fabricate din noul PFA, acești purtători de napolitane prezintă o rezistență deosebită la substanțe chimice dure, cum ar fi acizii, bazele și solvenții puternici folosiți de obicei în curățarea și gravarea napolitane. Proprietățile de scurgere și depășire cu ioni foarte scăzute ale PFA fac ca acesta să fie materialul preferat pentru sarcini importante ale camerei curate, unde chiar și cantități minuscule de contaminanți pot afecta randamentele dispozitivului.

Transportatorii PFA Wafer sunt fabricate în camere curate și lucrează cu standardele de cameră curate din clasa 1 (clasa ISO 3). Suprafața netedă, antiaderentă a PFA, minimizează generarea și adeziunea particulelor, împiedicând contaminarea din reziduuri sau particule. În plus, natura hidrofobă a PFA facilitează clătirea minuțioasă și uscarea rapidă, reducând în continuare riscul de contaminare încrucișată în timpul etapelor de procesare umedă.

Fiecare transportator PFA Wafer este făcut cu exactitate pentru a se asigura sigur și chiar sprijinul napolitanei în timpul mișcării și păstrării. Sloturile canelate ajută napolitane cu puțin contact, reducând stresul și cioplirea pe marginile napolitane. Transportatorii au multe forme pentru a se potrivi cu diferite dimensiuni de napolitane care includ 100 mm, 150 mm, 200 mm și 300 mm diametre. Topurile opționale și modalitățile de blocare strânse oferă o siguranță suplimentară împotriva șocului pentru articole, vibrații și expunerea la mediu.

Datorită rezistenței termice excelente a PFA până la 260 ° C, este compatibilă cu procese de temperatură ridicată, cum ar fi difuzia, oxidarea și depunerea de vapori chimici. Transportatorul își păstrează integritatea structurală în cadrul ciclului termic repetat și, prin urmare, este potrivit atât pentru medii de procesare, cât și pentru procesare automată.

Transportatorii PFA Wafer au aplicații largi în curățarea plafonului, gravarea umedă, fotolitografia CMP și alte procese front-end și back-end în fabricarea IC. Designul și puritatea lor robustă le fac ideale pentru utilizare în FABS, R&D Labs și echipamente OEM care necesită protocoale stricte de control al contaminării.

PersonalizatTransportatori PFA WaferPoate fi dezvoltat pentru a satisface cerințele specifice de automatizare, inclusiv manipularea robotică, sistemele de cale și transportul vertical/orizontal. Transportatorii sunt complet compatibili cu echipamentele standard de manipulare a plafonului și instrumentele de fabricație cu semiconductor.