Barcă din grafit solar PECVD

SemicorexBărci solare din grafit PECVDsunt realizate cu precizie din puritate ridicatăgrafit izostatic. Fiecare barcă din grafit solar PECVD de la Semicorex este supusă prelucrarii precise, inspecției dimensionale și testelor de performanță electrică pentru a asigura performanță stabilă în medii cu plasmă la temperatură înaltă.

În timpul procesării PECVD, barca solară din grafit PECVD transportă plachete de siliciu în camera de reacție PECVD și servește ca electrod conectat la sursa de alimentare RF. Atunci când se aplică o tensiune alternativă între plăcile adiacente ale bărcii, se stabilește un câmp electric. Sub influența câmpului electric, gazele reactive (cum ar fi silanul SiH₄ și amoniacul NH₃) suferă descărcări strălucitoare și generează plasmă. Ionii și radicalii liberi din plasmă descompun gazele precursoare, formând ioni de siliciu (Si) și azot (N). Acești ioni se combină pentru a forma molecule de nitrură de siliciu (Si₃N₄), care sunt apoi depuse pe suprafața plachetei de siliciu pentru a forma pelicule subțiri.

1. Stabilitate termică excepțională

Cu un coeficient de dilatare termică apropiat de cel al plachetelor de siliciu, SemicorxBarcă din grafit solar PECVDsuferă modificări dimensionale neglijabile la încălzire, ceea ce evită în mod fiabil deteriorarea plăcilor induse de stres termic.

2. Conductivitate electrică și termică superioară

Bărcile solare din grafit Semicorex PECVD au o conductivitate electrică excelentă, asigurând conducerea rapidă a curentului RF și distribuția uniformă a câmpului electric, ceea ce este benefic pentru generarea stabilă a plasmei și depunerea uniformă a plachetelor de siliciu. În plus, conductivitatea sa termică superioară facilitează răcirea și încălzirea rapidă, îmbunătățind eficiența producției, prevenind în același timp supraîncălzirea localizată să afecteze calitatea depunerilor.

3. Stabilitate chimică puternică

Datorită utilizării materialelor de calitate premium, barca solară din grafit Semicorex PECVD este mai puțin predispusă la reacția cu gazele reactive și plasma. Această caracteristică previne în mod semnificativ distribuția neuniformă a câmpului electric cauzată de coroziune, deformare sau depunerea de impurități în barca de grafit, asigurând astfel stabilitatea procesului de depunere și calitatea suprafeței plachetelor de siliciu.

4. Rezistență mecanică remarcabilă

Cu rezistența sa mecanică remarcabilă, barca solară din grafit Semicorex PECVD poate face față cu ușurință greutății încărcăturilor de napolitane de mare volum. Ele pot rezista la solicitarea mecanică generată în timpul încărcării și transportului pentru o perioadă lungă de timp, fără a se deforma sau rupe cu ușurință.

5. Consistență dimensională excelentă

Barca solară din grafit Semicorex PECVD realizează o precizie dimensională excepțională pentru toate componentele prin prelucrare de precizie. Menține placheta de siliciu într-o poziție fixă ​​în timpul depunerii, ceea ce asigură depunerea uniformă și compatibilitatea cu producția automată.