Încălzitor PBN

Încălzitorul PBN PBN de bor pirolitic PBN este o componentă de încălzire de înaltă puritate, de înaltă performanță, proiectată pentru aplicații solicitante, unde sunt esențiale materiale ultra-curățate, stabile din punct de vedere chimic și eficiente termic. Fabricat printr-un proces de depunere a vaporilor chimici (CVD), PBN prezintă o conductivitate termică excepțională, rezistență la temperatură ridicată și inerție chimică remarcabilă, ceea ce o face alegerea ideală pentru procesarea semiconductorilor, creșterea cristalului și aplicațiile de vid.

Încălzitorul PBN este un încălzitor care folosește PBN extrem de izolant ca substrat și folosește depunerea de vapori chimici de descompunere termică de joasă presiune (CVD) pentru a acoperi PG conductor la presiune scăzută (sub 10torr) și temperatură ridicată. Principalele componente ale acestui încălzitor compus sunt nitrura de bor pirolitică (PBN) și grafitul pirolitic (PG). Datorită rezistenței sale excelente de coroziune și a rezistenței la temperaturi ridicate, este utilizată în principal pentru încălzirea substratului semiconductor (utilizat în MBE, MOCVD, acoperire de sputtering etc.); Încălzirea substratului superconductor; Încălzirea probelor în timpul analizei eșantionului; Încălzirea probei de microscop electronic; Încălzire metalică; Sursa de încălzire a evaporării metalice etc.

PBN este inert gazelor corozive; are o puritate ridicată (mai mare de 99,99%); nu se udă sau nu reacționează cu majoritatea metalelor topite (are caracteristicile unei tigaie antiaderentă, iar metalul poate fi utilizat 100%); are o rezistență bună la temperatură ridicată (temperatura maximă de funcționare este de 2000 ℃); densitate bună; O bună rezistență la șocuri termice și alte proprietăți excelente îl fac un material ideal pentru prepararea încălzitoarelor compuse PBN-PG. PG poate fi încălzit rapid la 1600 ℃ (într -o atmosferă inertă și sub vid) într -un încălzitor PBN. În același timp, combinat cu o bună conductivitate termică a PBN, suprafața de încălzire are o uniformitate bună a căldurii. Odată cu dezvoltarea rapidă a industriilor conexe, cererea de încălzitoare compozite PBN-PG a crescut, de asemenea, rapid.

Încălzitoarele PBN pot fi fabricate într -o varietate de forme și configurații pentru a satisface cerințele specifice de proiectare și integrare. Modelele tipice includ încălzitoare plane, încălzitoare tubulare și geometrii personalizate cu elemente de încălzire încorporate sau montate la suprafață. Elementele de încălzire sunt de obicei confecționate din grafit pirolitic (PG) și încapsulate în PBN, oferind o structură complet sigilată, izolatoare electrică și eficientă termic.