Mandrină electrostatică PBN

Proprietățile materiale alePBNMandrină electrostatică

Rezistență la temperaturi ridicate și rezistență dielectrică

ThePBNMandrina electrostatică este renumită pentru rezistența excepțională la temperatură ridicată, o trăsătură esențială în procesul de fabricație a semiconductorilor. Nitrura de bor pirolitică (PBN), materialul folosit la construcția mandrinei, prezintă o rezistivitate mai mare decât cea mai mare parte a ceramicii utilizate în mod obișnuit, ceea ce este crucial pentru menținerea forței mandrinei Johnsen-Rahbek (J-R) până la temperaturi de 1050°C. Această rezistivitate ridicată, cuplată cu rezistența sa dielectrică ridicată, asigură prevenirea eficientă a defecțiunii electrice chiar și în condiții de căldură intensă, sporind astfel fiabilitatea operațională a mandrinei.

Uniformitate termică și rezistență la șocuri

Structura rețelei hexagonale a PBN, preparată prin depunere chimică de vapori la temperaturi care depășesc 1500°C, contribuie la uniformitatea termică și rezistența la șocuri remarcabile. Elementele de încălzire de înaltă densitate din interiorulPBNMandrinul electrostatic îi permite să obțină un profil termic consistent al plachetei cu o uniformitate bună de 1,1–1,5% la temperaturi de 600–800°C. În plus, mandrina pe bază de PBN demonstrează o rezistență remarcabilă la șocuri termice și o masă termică mai mică, permițându-i să atingă 600°C la o viteză rapidă de 23°C/sec fără riscul de fisurare sau delaminare.

Încălzire personalizabilă în mai multe zone

Mandrina electrostatică PBN este extrem de personalizabilă, având capacități de încălzire în mai multe zone care permit controlul maxim al temperaturii. Acest nivel de personalizare asigură că fiecare mandrină poate fi adaptată pentru a satisface cerințele specifice ale clienților individuali, oferind o soluție flexibilă pentru diverse aplicații de procesare a semiconductoarelor.

Aplicatii alePBNMandrină electrostatică

Implantarea ionică și manipularea plachetelor

Mandrina electrostatică PBN este aparatul preferat de manipulare a plachetelor în procesele de implantare ionică. Capacitatea sa de a ține napolitane la temperaturi care depășesc 1000°C îl face unul dintre cele mai versatile mandrine electrostatice de pe piață. Această versatilitate este sporită și mai mult de capacitatea sa de a menține napolitanele în intervale de temperatură foarte strânse, datorită elementelor de încălzire multizonale de înaltă densitate.

Implantarea ionilor de carbură de siliciu

În aplicarea specifică a implantării ionilor SiC,PBNMandrinul electrostatic oferă o soluție viabilă la provocările legate de încălzirea și manipularea plachetelor. Capacitățile sale cu două funcții, care includ forță mare de mandrină, putere mare de încălzire, uniformitate termică bună și răspuns rapid, îl fac o alegere ideală pentru a răspunde cerințelor complexe ale implantării ionilor SiC.

Fabricarea semiconductorilor

Mandrina electrostatică PBN joacă un rol critic în fabricarea semiconductoarelor, unde manipularea precisă a plachetelor și controlul temperaturii sunt esențiale. Rezistența ridicată la șocuri termice și capacitățile de creștere rapidă a temperaturii îl fac potrivit pentru procesele avansate de semiconductor care necesită un management riguros al temperaturii și ciclu termic rapid.