Încălzitoare compuse PBN

Încălzitoarele compozite PBN semicorex fuzionează conductivitatea termică excelentă a grafitului pirolitic cu inerția chimică și izolarea electrică a nitrurii de bor pirolitice. Aceste încălzitoare sunt construite dintr -un grafit de puritate foarte mare și PBN care se aplică folosind un proces de BCV de înaltă calitate (depunere de vapori chimici) în condiții de depunere de înaltă puritate. Fiecare strat individual de realizare a fost depus cu o controlabilitate extremă pentru a asigura puritatea ultra-înaltă și proprietățile termice consistente. Nucleul de grafit, care oferă încălzire rapidă și uniformă pe tot parcursul, este protejat de oxidare și contaminare de către capsula PBN; Acest lucru face ca încălzitorul să fie ideal pentru medii cu gaze în vid și medii de gaze inerte. Aceste încălzitoare PBN sunt proiectate în mod intenționat pentru a fi utilizate în reactoarele MBE (Epitaxie cu fascicul molecular), reactoarele CVD și alte sisteme de creștere a cristalelor.

Încălzitorul compozit pirolitic pirolitic de nitru-pirolitic (PBN-PG) este un încălzitor care folosește PBN cu izolare ridicată ca substrat și folosește depunerea de vapori chimici de decompunere termică de joasă presiune (CVD) la presiune joasă (sub 10 TORR) și temperaturi ridicate pentru a acoperi Pg. Principalele componente ale acestui încălzitor compus sunt nitrura de bor pirolitică (PBN) și grafitul pirolitic (PG). Datorită rezistenței sale excelente de coroziune și a rezistenței la temperaturi ridicate, este utilizată în principal pentru încălzirea substratului semiconductor (utilizat în MBE, MOCVD, acoperire de sputtering etc.); Încălzirea substratului superconductor; Încălzirea probelor în timpul analizei eșantionului; Încălzirea probei de microscop electronic; Încălzire metalică; Sursa de încălzire a evaporării metalice etc.

Încălzitoarele PBN pot rezista la temperaturi de funcționare de până la 1600 ° C în vid și au o capacitate îmbunătățită de a rezista la șocuri termice pe orice alternative pe bază de metal pe care te -ai baza. Suprafața încălzitorului este extrem de netedă și densă și produce particule semnificativ mai puține în timpul funcționării, ceea ce este esențial pentru aplicațiile în care contaminarea nu poate fi tolerată, cum ar fi procesarea plafonului cu semiconductor.

Structura compozită oferă o uniformitate termică excelentă pe suprafața încălzitorului, iar căile sale rezistive pot fi personalizate pentru a permite o distribuție de căldură adaptată. Acest design permite cicluri rapide de rampi și de recul în timpul procesării, fără a crăpa și delaminarea din cauza acelorași coeficienți de expansiune termică ai materialelor utilizate. Electrozii sunt capabili să reziste la o funcționare continuă continuă și sunt, de asemenea, compatibili în vid.

Semicorex oferă o flexibilitate nelimitată a proiectării pentru forme unice, dimensiuni și cerințe de putere, atunci când este necesar, pentru a satisface nevoile specifice ale aplicației; Fie că este vorba de dimensiuni standard de placă sau de geometrii mai complexe, garantăm precizia dimensională și uniformitatea termică în fiecare unitate produsă.

Încălzitoarele compuse PBN sunt perfecte pentru aplicații ultra-curată, inclusiv:

• Sisteme MBE pentru procesarea semiconductorului compus III-V și II-VI
• Sisteme de acoperire în vid pentru componente optice
• Sisteme de creștere a cristalelor pentru Sapphire și SIC
• Prelucrare termică de înaltă puritate pentru medii de laborator de cercetare și dezvoltare.