Inelul de focalizare, denumit și inel de compensare sau inel de izolare, este o componentă indispensabilă a echipamentului de gravare, în special echipamentul de gravare uscată cu plasmă. Procesele de gravare de precizie la scară nanometrică în producția modernă de semiconductori nu ar fi realizabil......
Citeşte mai multPrin reglarea precisă a profilurilor de încălzire și răcire, procesul de recoacere poate activa atomii de dopanți, repara deteriorarea rețelei, ameliorează stresul intern și îmbunătățește fiabilitatea electrică a plachetelor. Aceste îmbunătățiri critice de performanță pun o bază solidă pentru preluc......
Citeşte mai multMandrinele de vid din ceramică sunt instrumente utilizate pentru strângerea și transportul plachetelor semiconductoare în fabricarea plăcilor semiconductoare. Acestea prezintă planeitate și paralelism ridicate, structură densă și uniformă, rezistență ridicată, permeabilitate bună la aer, forță de ad......
Citeşte mai multObiectivul principal este de a obține uniformitatea temperaturii suprafeței plachetei (≤±0,5–5℃) și stabilitatea câmpului temperatură/debit, îmbunătățind astfel uniformitatea grosimii stratului epitaxial (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 μm/h).
Citeşte mai multCompozitele C/C posedă numeroase proprietăți excelente și sunt în prezent singurele materiale compozite capabile să funcționeze la temperaturi ridicate peste 2600°C în atmosfere inerte, făcându-le aplicabile pe scară largă în industria aerospațială, armament, energie nucleară, metalurgie și industri......
Citeşte mai multFiind material de substrat indispensabil în industria semiconductoarelor de ultimă oră, plachetele cu carbură de siliciu prezintă proprietăți termice și electrice excelente, oferindu-se perspective largi de aplicare în dispozitive electronice integrate la temperaturi înalte, frecvență înaltă, putere......
Citeşte mai mult