Diferențele structurale între diferitele tipuri de reactoare

Pe baza configurației camerei de reacție, echipamentele de tratare termică (echipamente cu tuburi de cuptor) sunt împărțite în principal în trei categorii: tuburi de cuptor verticale, tuburi de cuptor orizontale și cuptoare de procesare termică rapidă (RTP).

Tuburile verticale ale cuptorului au tuburi de cuarț dispuse vertical, cu napolitanele plasate în jurul tuburilor pentru încălzire. Principalele lor avantaje sunt distribuția uniformă a temperaturii, controlul precis al atmosferei, automatizarea ridicată, contaminarea cu particule mai puțin, amprenta redusă și suportul pentru procesarea în loturi (potrivit în special pentru napolitane de 12 inchi), făcându-le echipamentul principal disponibil în prezent. Dimensiunea pieței globale a atins 3,2 miliarde de dolari în 2024 (date SEMI). Dezavantajele lor includ separarea ușoară gaz-lichid și fluxul descendent al mediului care poate cauza arderea tubului cuptorului.

Tuburile orizontale ale cuptorului au tuburi de cuarț așezate orizontal, procesând 100-200 de napolitane o dată. Avantajele lor includ flux uniform de gaz-lichid în tubul cuptorului și control mai precis al temperaturii. Dezavantajele lor includ o amprentă mai mare și un consum mai mare de suporturi intermediare pentru tuburi din oțel aliat. Din punct de vedere structural, tuburile orizontale ale cuptorului plasează napolitanele vertical în tuburile orizontale pentru procesare.

Cuptoarele de recoacere termică rapidă (RTP) folosesc lămpi cu infraroșu cu halogen pentru a încălzi rapid plăcile simple, oferind rate rapide de încălzire și răcire care modifică doar temperatura plăcilor fără a modifica temperatura camerei. Sunt potrivite pentru recoacere rapidă în loturi mici, dar nu pentru producția de masă.

În prelucrarea plachetelor, tuburile orizontale ale cuptorului plasează napolitana pe o barcă de cuarț, care, la rândul ei, se sprijină pe un cadru suport din carbură de siliciu (SiC). Cadrul suport este apoi împins în tubul cuptorului de cuarț, unde napolitana suferă reacția într-o zonă cu temperatură constantă. Tuburile de cuptor verticale, pe de altă parte, plasează napolitana pe un turn de cuarț și o ridică încet în tubul cuptorului de cuarț pentru procesare. După reacție, napolitana este coborâtă încet pentru a preveni îndoirea sau ruperea.

Semicorex oferă produse personalizate de înaltă calitatereactor de cuptor cu cuarț. Produsele noastre sunt concepute pentru a oferi o stabilitate termică superioară, o durată de viață extinsă și o consistență excepțională a procesului. Pentru soluții personalizate sau informații tehnice suplimentare, nu ezitați să contactați echipa noastră de ingineri.

Telefon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com