Barcă de napolitană cu carbură de siliciu

În fabricarea semiconductoarelor, oxidarea implică plasarea plachetei într-un mediu cu temperatură ridicată, unde oxigenul curge pe suprafața plachetei pentru a forma un strat de oxid. Acest lucru protejează placheta de impuritățile chimice, previne intrarea curentului de scurgere în circuite, previne difuzia în timpul implantării ionilor și previne alunecarea plachetei în timpul gravării, formând o peliculă protectoare pe suprafața plachetei. Echipamentul folosit în această etapă este un cuptor de oxidare. Componentele principale din camera de reacție includ o barcă de napolitană, bază, tuburi de căptușeală a cuptorului, tuburi interioare a cuptorului și deflectoare de izolare termică. Datorită temperaturii ridicate de funcționare, cerințele de performanță pentru componentele din camera de reacție sunt de asemenea ridicate.

Thebarcă de napolitanăeste folosit ca transportator pentru transportul si prelucrarea napolitanelor. Ar trebui să aibă avantaje precum integrare ridicată, fiabilitate ridicată, proprietăți antistatice, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la uzură, rezistență la deformare, stabilitate bună și durată lungă de viață. Deoarece temperatura de oxidare a napolitanelor este de aproximativ între 800 ℃ și 1300 ℃, iar cerințele privind conținutul de impurități metalice din mediu sunt extrem de stricte, componentele cheie, cum ar fi napolitana, nu numai că trebuie să aibă proprietăți termice, mecanice și chimice excelente, ci și un conținut extrem de scăzut de impurități metalice. Pe baza substratului, acestea pot fi împărțite în bărci cu napolitană de cuarț, bărci cu napolitană ceramică cu carbură de siliciu etc. Cu toate acestea, odată cu avansarea nodurilor de proces sub 7 nm și extinderea ferestrelor de proces la temperatură înaltă, bărcile tradiționale din cuarț devin treptat inadecvate în ceea ce privește stabilitatea termică, controlul particulelor și managementul duratei de viață. Bărcile cu carbură de siliciu (SiC) înlocuiesc treptat soluțiile tradiționale de cuarț.

1. Fabricarea semiconductorilor

În procesele la temperatură înaltă de fabricare a cipurilor, cum ar fi oxidarea, difuzia, depunerea chimică în vapori (CVD) și implantarea ionică, bărcile SiC sunt folosite pentru a susține plachetele de siliciu, asigurând că plachetele rămân plate la temperaturi ridicate și prevenind dezalinierea sau deformarea rețelei cauzate de stresul termic, garantând astfel precizia și performanța cipului.

2. Industria fotovoltaică

Ceramica cu carbură de siliciu posedă rezistență mecanică excelentă, stabilitate termică, rezistență la temperaturi înalte, rezistență la oxidare, rezistență la șoc termic și rezistență la coroziune chimică și sunt utilizate pe scară largă în domenii populare, cum ar fi metalurgia, mașinile, energia nouă și substanțele chimice ale materialelor de construcție. Performanța sa este suficientă și pentru procesele termice din producția fotovoltaică, cum ar fi difuzia, LPCVD (depunerea de vapori chimici la presiune joasă) și PECVD (depunerea de vapori chimici cu plasmă) pentru celulele TOPcon. În comparație cu materialele tradiționale de cuarț, materialele ceramice cu carbură de siliciu utilizate pentru a face suporturi pentru bărci, bărci mici și produse tubulare oferă o rezistență mai mare, o stabilitate termică mai bună și nicio deformare la temperaturi ridicate. Durata de viață a acestora este, de asemenea, de peste cinci ori mai mare decât cea a cuarțului, reducând semnificativ costurile de operare și pierderile de energie din cauza timpilor de întreținere. Acest lucru are ca rezultat un avantaj clar de cost, iar materiile prime sunt disponibile pe scară largă.

3. Industria semiconductoare de a treia generație

În camerele de reacție de depunere chimică în vapori metal-organic (MOCVD), bărcile cu carbură de siliciu sunt folosite pentru a susține substraturi de safir, rezistând mediilor de gaz corozive precum amoniacul (NH3), susținând creșterea epitaxială a materialelor semiconductoare de a treia generație, cum ar fi nitrura de galiu (GaN) și îmbunătățind eficiența luminoasă și performanța cipurilor LED. În creșterea monocristalului cu carbură de siliciu, bărcile cu carbură de siliciu servesc ca suport pentru cristale semințe în cuptoarele de creștere cu un singur cristal cu carbură de siliciu, rezistând mediului coroziv la temperatură înaltă a siliciului topit, oferind un suport stabil pentru creșterea monocristalelor cu carbură de siliciu și promovând prepararea monocristalelor de carbură de siliciu de înaltă calitate.

Semicorex furnizează ceramică SiC de înaltă calitatebărci cu napolitană. Produsele noastre sunt concepute pentru a oferi o stabilitate termică superioară, o durată de viață extinsă și o consistență excepțională a procesului. Pentru soluții personalizate sau informații tehnice suplimentare, nu ezitați să contactați echipa noastră de ingineri.

Telefon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com