Cât de importante sunt bărcile cu napolitană cu carbură de siliciu?

În producția de semiconductori, pe lângă echipamentele de proces de bază, cum ar fi fotolitografia și gravura, un alt tip de componentă fundamentală joacă un rol crucial în stabilitatea procesului:barcă de napolitană.

În special în ultimii ani, odată cu dezvoltarea proceselor la temperatură înaltă și a semiconductoarelor de a treia generație, bărcile din carbură de siliciu, realizate din carbură de siliciu, devin în liniște standard în industrie.

Deci, ce rol joacă această componentă aparent nesemnificativă în fabricarea semiconductoarelor?

01 Funcțiile de bază ale unei barci de napolitană

O barcă de napolitană este un suport de proces utilizat pentru a ține napolitane, utilizat în principal în echipamentele de procesare la temperatură înaltă.

În procesul de fabricare a semiconductorilor, plachetele sunt supuse mai multor etape de procesare termică, cum ar fi difuzia, oxidarea, recoacere și depunerea chimică în vapori (CVD). În timpul acestor procese, napolitanele sunt de obicei procesate în loturi în echipamente cu tuburi de cuptor, iar napolitana îndeplinește următoarele funcții:

- Sprijinirea mai multor napolitane și menținerea unei distanțe stabile

- Asigurarea stabilității poziționale a plachetelor în medii cu temperatură ridicată

- Asigurarea debitului uniform de gaz împreună cu echipamentul

Structura și proprietățile materialelor bărcii napolitane afectează direct distribuția câmpului termic și consistența procesului.

02 Caracteristicile structurale ale bărcilor cu carbură de siliciu

Bărci cu carbură de siliciufolosesc de obicei un design de cadru, oferind stabilitate structurală ridicată. Caracteristicile tipice includ:

- Structură cu mai multe straturi pentru o poziționare precisă a plachetelor

- Design deschis pentru un flux ușor de gaz între napolitane

- Cadru de mare rigiditate pentru a reduce riscul de deformare la temperaturi ridicate

În funcție de tipul de echipament, bărcile pot fi proiectate ca structuri verticale sau orizontale și pot suporta diferite dimensiuni de napolitană (de exemplu, 6-inch, 8-inch, 12-inch).

03 Selectarea materialului: De ceCarbură de siliciu?

Pe măsură ce procesele semiconductoare evoluează către temperaturi mai ridicate și curățenie mai ridicată, materialele tradiționale precum cuarțul și alumina sunt din ce în ce mai insuficiente. În schimb, carbura de siliciu oferă avantaje în mai multe dimensiuni de performanță.

1. Rezistență la temperatură înaltă: carbura de siliciu prezintă o bună stabilitate structurală în intervalul de temperatură de aproximativ 1200℃ până la 1400℃. În anumite condiții de proces de înaltă puritate sau speciale, poate fi utilizat în medii cu temperatură și mai ridicată. Nu prezintă fenomene de topire sau de înmuiere semnificative similare materialelor metalice la temperaturi ridicate.

2. Conductivitate termică ridicată: Carbura de siliciu are o conductivitate termică ridicată, ceea ce ajută la reducerea diferențelor de temperatură dintre plachete, îmbunătățind astfel consistența procesului.

3. Coeficient scăzut de dilatare termică: Carbura de siliciu are un coeficient scăzut de dilatare termică, ceea ce reduce impactul stresului termic asupra plachetelor în timpul proceselor de încălzire și răcire.

4. Stabilitate chimică: Carbura de siliciu prezintă o bună stabilitate chimică în diverse atmosfere, inclusiv atmosfere oxidante și reducătoare. Cu toate acestea, va suferi în continuare o reacție lentă de oxidare în medii cu oxigen la temperatură înaltă, formând un strat protector de dioxid de siliciu.

5. Puritatea materialului și controlul contaminării: Carbura de siliciu de calitate semiconductoare are de obicei un conținut de impurități strict controlat pentru a reduce riscul de contaminare pe suprafața plachetei. Există diferențe semnificative între materialele utilizate în diferite grade de proces.

04 Domenii de aplicare

Bărcile cu carbură de siliciu sunt în prezent utilizate pe scară largă în mai multe domenii, inclusiv:

- Prelucrare termică în fabricarea circuitelor integrate

- Fabricarea dispozitivelor semiconductoare de putere (de exemplu, dispozitive SiC)

- Prelucrarea la temperatură înaltă a plachetelor de siliciu fotovoltaic

- Materiale semiconductoare și procese de cercetare și dezvoltare

Avantajele sale sunt și mai pronunțate în scenariile care necesită temperatură ridicată, coroziune puternică sau curățenie ridicată.

Oferte SemicorexBarci cu napolitană SiC, tuburi de cuptor, palete cantilever, etc în cuptoare cu temperatură înaltă. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.

Telefon de contact +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com