Despre defectele cristalelor de SiC - Micropipe

Substratul SiC poate avea defecte microscopice, cum ar fi Dislocarea șurubului filetat (TSD), Dislocarea marginii filetului (TED), Dislocarea planului de bază (BPD) și altele. Aceste defecte sunt cauzate de abaterile în aranjarea atomilor la nivel atomic. Cristalele de SiC pot avea, de asemenea, dislocații macroscopice, cum ar fi incluziuni de Si sau C, micropipe, goluri hexagonale, polimorfe etc. Aceste dislocații sunt de obicei mari ca dimensiuni.

Una dintre problemele majore în fabricarea dispozitivelor SiC este microstructurile tridimensionale cunoscute sub numele de „micropipe” sau „pinholes”, care au o dimensiune de obicei de 30-40um și, respectiv, 0,1-5um. Aceste microțevi au o densitate de 10-10³/cm² și pot pătrunde în stratul epitaxial, ducând la defecte de distrugere a dispozitivului. Ele sunt cauzate în principal de gruparea dislocațiilor spiro și sunt considerate obstacolul principal în dezvoltarea dispozitivelor SiC.

Defectele microtubulilor de pe substrat sunt sursa altor defecte formate în stratul epitaxial în timpul procesului de creștere, cum ar fi goluri, incluziuni de diverse polimorfe, gemeni etc. Prin urmare, cel mai important lucru de făcut în timpul procesului de creștere a materialului substratului pentru dispozitivele SiC de înaltă tensiune și putere mare este de a reduce formarea de defecte de microtubuli în cristalele de SiC în vrac și de a le împiedica să intre în stratul epitaxial.

Microțeava poate fi privită ca gropi mici, iar prin optimizarea condițiilor procesului putem „umple gropile” pentru a reduce densitatea microțevii. Mai multe studii din literatură și date experimentale au arătat că epitaxia de evaporare, creșterea CVD și epitaxia în fază lichidă pot umple microțeava și pot reduce formarea de microțevi și dislocații.

Semicorex utilizează tehnica MOCVD pentru a crea acoperiri SiC care scad efectiv densitatea microțevilor, rezultând produse de cea mai bună calitate. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.

Telefon de contact +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com