De ce să alegeți susceptori de grafit acoperiți cu SiC?

Susceptor de grafiteste una dintre părțile esențiale din echipamentul MOCVD, este purtătorul și încălzitorul substratului de plachetă. Proprietățile sale de stabilitate termică și uniformitate termică joacă un rol decisiv în calitatea creșterii epitaxiale a plachetei, care determină în mod direct uniformitatea și puritatea materialelor stratului, în consecință calitatea acesteia afectează direct prepararea epitaxiei. Între timp, odată cu creșterea numărului de utilizări și modificări ale condițiilor de lucru, este foarte ușor de pierdut și aparține consumabilelor. Conductivitatea termică excelentă și stabilitatea grafitului îl fac un avantaj bun cao componentă de bază pentru echipamentele MOCVD. Cu toate acestea, dacă se folosește numai grafit pur, acesta se va confrunta cu unele probleme. În procesul de producție vor exista gaze corozive și reziduuri organice metalice, iar baza de grafit se va coroda și va scăpa pulberea, ceea ce reduce foarte mult durata de viață asusceptor de grafit, iar pulberea de grafit căzută va cauza, de asemenea, poluare a cipului, deci în procesul de pregătire a bazei, de asemenea, Aceste probleme trebuie rezolvate în timpul pregătirii bazei. Tehnologia de acoperire poate asigura fixarea pe suprafață a pulberii, poate îmbunătăți conductivitatea termică și poate egaliza distribuția termică, care devine principala tehnologie pentru a rezolva această problemă. Tehnologia principală este de a rezolva această problemă. În conformitate cu mediul de aplicare și cerințele desusceptori de grafit, acoperirea suprafeței trebuie să aibă următoarele caracteristici.

Densități mari și ambalare completă: baza de grafit în ansamblu se află într-un mediu de lucru cu temperatură ridicată, coroziv, suprafața trebuie să fie complet învelită, în timp ce acoperirea trebuie să aibă densități bune pentru a juca un rol protector bun.

Planeitate bună a suprafeței: Deoarece baza de grafit utilizată pentru creșterea monocristalului necesită o planeitate foarte mare a suprafeței, planeitatea originală a bazei trebuie menținută după pregătirea acoperirii, adică suprafața acoperirii trebuie să fie uniformă.

Rezistență bună de lipire: reducerea diferenței de coeficient de dilatare termică dintre baza de grafit și materialul de acoperire poate îmbunătăți în mod eficient rezistența de aderență între ele, iar acoperirea nu este ușor de spart după cicluri termice la temperaturi înalte și joase.

Conductivitate termică ridicată: creșterea așchiilor de înaltă calitate necesită căldură rapidă și uniformă de la baza de grafit, astfel încât materialul de acoperire ar trebui să aibă o conductivitate termică ridicată.

Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperatură ridicată și la coroziune: Acoperirea ar trebui să poată funcționa stabil în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.