Care este procesul epitaxial de SiC?

În domeniul de înaltă tensiune, în special pentru dispozitivele de înaltă tensiune peste 20.000 V,SiC epitaxialtehnologia se confruntă încă cu mai multe provocări. Una dintre principalele dificultăți este obținerea unei uniformități ridicate, grosimi și concentrații de dopaj în stratul epitaxial. Pentru fabricarea unor astfel de dispozitive de înaltă tensiune, este necesară o placă epitaxială de carbură de siliciu cu o grosime de 200 um, cu uniformitate și concentrație excelente.

 

Cu toate acestea, atunci când se produc folii groase de SiC pentru dispozitive de înaltă tensiune, pot apărea numeroase defecte, în special defecte triunghiulare. Aceste defecte pot avea un impact negativ asupra pregătirii dispozitivelor cu curent ridicat. În special, atunci când cipurile de suprafață mare sunt utilizate pentru a genera curenți mari, durata de viață a purtătorilor minoritari (cum ar fi electronii sau găurile) se reduce semnificativ. Această reducere a duratei de viață a purtătorului poate fi problematică pentru atingerea curentului direct dorit în dispozitivele bipolare, care sunt utilizate în mod obișnuit în aplicațiile de înaltă tensiune. Pentru a obține curentul direct dorit în aceste dispozitive, durata de viață a purtătorului minoritar trebuie să fie de cel puțin 5 microsecunde sau mai mult. Cu toate acestea, parametrul de viață tipic al operatorului minoritar pentruSiC epitaxialnapolitane este de aproximativ 1 până la 2 microsecunde.

 

Prin urmare, deșiSiC epitaxialprocesul a ajuns la maturitate și poate îndeplini cerințele aplicațiilor de joasă și medie tensiune, sunt necesare progrese și tratamente tehnice suplimentare pentru a depăși provocările din aplicațiile de înaltă tensiune. Îmbunătățirile în uniformitatea grosimii și concentrația de dopaj, reducerea defectelor triunghiulare și îmbunătățirea duratei de viață a purtătorului minoritar sunt domenii care necesită atenție și dezvoltare pentru a permite implementarea cu succes a tehnologiei epitaxiale SiC în dispozitivele de înaltă tensiune.