Barcă cu placă de carbură de siliciu

În spatele fiecărui proces de temperatură ridicată în fabricarea wafer-ului se află un jucător tăcut, dar crucial: barca wafer. În calitate de purtător de bază care contactează direct placa de siliciu în timpul procesării plafonului, materialul, stabilitatea și curățenia acesteia sunt direct legate de randamentul final al cipului și de stabilitatea procesului. Printre diverse materiale de transport,carbură de siliciu (sic)Barcile înlocuiesc treptat soluțiile tradiționale de cuarț, devenind soluția preferată pentru procesele avansate și echipamentele de înaltă calitate.

De ce bărcile de wafer sic?

Odată cu avansarea nodurilor de proces sub 7nm și extinderea ferestrelor procesului de temperatură ridicată, bărcile tradiționale de cuarț se luptă din ce în ce mai mult în ceea ce privește stabilitatea termică, controlul particulelor și gestionarea duratei de viață.

Cu toate acestea, bărcile cu placi din carbură de siliciu câștigă treptat proeminență din cauza următoarelor avantaje:

1. Stabil la temperaturi ridicate:

Acestea oferă temperaturi de funcționare pe termen lung de 1350-1600 ° C, gestionând cu ușurință procesele mainstream, cum ar fi BCV, difuzie și recoacere. Chiar și o scurtă expunere la temperaturi de 1800 ° C nu arată înmuierea sau deformarea, ceea ce le face potrivite pentru echipamente superioare, cum ar fi cuptoarele cu carbură de siliciu cu un singur cristal.

2. Expansiunea în funcție și stabilitate ridicată a șocului termic:

Cu un coeficient scăzut de expansiune termică, acestea pot rezista la creșterea rapidă a temperaturii și scade, minimizând fisurarea structurală cauzată de tensiunea termică. Ei mențin morfologie și performanță excelentă în atmosfere complexe la temperatură ridicată (cum ar fi hidrogen, azot, amoniac și fluoruri).

3. Suprafață și contaminare extrem de scăzută:

Puritate de material ridicat cu impurități metalice minime. Rugozitate scăzută a suprafeței, prevenirea contaminării secundare a napolitanelor de siliciu; Controlul excelent al rugozității suprafeței, cu RA sub 0,1 μm, suprimă vărsarea de particule și îndeplinește cerințele camerei curate ale proceselor avansate;

4. Turnare dintr-o bucată, Structurile de barcă cu wafer prelucrat cu precizie pot fi formate direct prin intermediul MoldlessImprimare 3D, eliminarea nevoii de mucegaiuri, îmbunătățirea semnificativă a eficienței personalizării; Combinate cu tehnologia de prelucrare și tăiere a sârmei cu cinci axe, dinții bărcii sunt fără burr, împiedicând zgârieturile pe napolitane și asigurând o manevrare automată netedă;

5. Putere mare și viață lungă: 

O singură barcă are o rezistență ridicată la încărcare și poate susține simultan zeci până la sute de napolitane de 12 inci. În comparație cu bărcile tradiționale de cuarț, durata de viață medie a bărcii este de 5-10 ori mai lungă, reducând frecvența de schimbare a echipamentelor și costul total al proprietății.

Scenariu de aplicație

Adaptabilitatea largă abărci cu placi cu carbură de siliciuîși extinde aplicația dincolo de domeniul semiconductorului la o varietate de scenarii de proces la temperaturi ridicate, inclusiv noi materiale energetice, fabricarea LED-urilor și cercetarea energetică nucleară.

Industria semiconductorilor

Este potrivit pentru procese cheie, cum ar fi oxidarea, difuzarea, depunerea CVD și implantarea ionică, ceea ce îl face un purtător indispensabil cu temperaturi înalte pentru liniile de proces sub-7nm.

Industria fotovoltaică

În tehnologiile emergente ale bateriei, cum ar fi Topcon și HJT, bărcile de wafer sunt utilizate în procese de cuptor la temperaturi ridicate, cum ar fi LPCVD și recoacere, contribuind la îmbunătățirea eficienței energetice și a ratelor de conversie.

Semiconductori de a treia generație

Pentru procesele de creștere epitaxială GAN și SIC în LED -uri, acestea susțin substraturile de carbură de safir sau siliciu. Ele rezistă la gaze corozive precum NH₃ și HCL, care susțin fabricarea de dispozitive de alimentare de înaltă frecvență.

Noi materiale energetice și platformă de cercetare la temperatură ridicată

Susține reacția de sinterizare a materialelor catodice cu baterii cu litiu și tratarea termică a materialelor din industria nucleară, combinând rezistența la căldură, rezistența la coroziune și curățenia.

Semicorex oferă puritate de înaltă puritateBarci personalizate SIC Wafer. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, nu ezitați să luați legătura cu noi.

Telefon de contact # +86-13567891907

E -mail: sales@semhorex.com