Încălzitoare de grafit acoperite cu conducte

The încălzitor de grafit acoperit conductiveste un produs nou conceput pentru procesarea semiconductorului la temperaturi ridicate și alte sisteme termice de vid. Utilizează stabilitatea termică bună a grafitului de înaltă puritate și caracteristicile excelente de suprafață ale unei acoperiri cu carbură de siliciu (SIC). Încălzitorul de grafit acoperit conductiv este diferențiat în continuare de stratul său SIC dopat cu azot, care oferă o conductivitate a suprafeței îmbunătățită mult îmbunătățită, ceea ce îl face deosebit de potrivit pentru aplicațiile care au nevoie de control controlat și chiar de încălzire cu performanțe electrice deosebite.

Încălzitorul este construit cu un substrat de grafit de înaltă rezistență, care acționează ca conductor structural și termic de bază. Grafitul a fost ales, în special, având în vedere nivelurile ridicate de conductivitate termică, coeficient de expansiune termică scăzut și rezistență la șocul termic. Aceste caracteristici fac din grafit un material de bază adecvat în aplicații de proces la temperaturi ridicate, unde pot exista cicluri de încălzire și răcire rapidă. Cu toate acestea, grafitul curat în sine este reactiv chimic în anumite atmosfere și poate experimenta deteriorarea sau degradarea suprafeței, emisia de particule sau reportul în timpul utilizării extinse, în special în mediile cu curat semiconductor.

Pentru a depăși aceste limitări, partea de grafit este acoperită cu un strat SIC gros, de înaltă puritate. Acoperirea SIC servește mai multe funcții: oferă un nivel de protecție împotriva oxidării și coroziunii chimice, oferă o suprafață foarte grea, rezistentă la uzură, și asigură compatibilitatea cu standardele de vid și cameră curată. SIC are o reputație de duritate extremă, conductivitate termică ridicată și inerție chimică; Din acest motiv, este un material de acoperire excelent pentru componente termice de înaltă performanță.

Inovația unică a acestui produs este dopajul de azot al acoperirii SIC. În timpul procesului de depunere de vapori chimici (CVD), atomii de azot sunt încorporați în rețeaua SIC, producând purtători liberi, care pot reduce dramatic rezistivitatea suprafeței și, prin urmare, creează un strat de suprafață conductiv și permit curentului să treacă direct, mai degrabă decât să folosească un punct de acces, prin intermediul acoperirii sic, permițând astfel întregul component al grafatului să acționeze ca un element de încălzire sic.

ClasicAcoperiri sicsunt insulative, ceea ce îi limitează într -adevăr în sfera de aplicare a aplicațiilor electrice active. În schimb, stratul SIC dopat cu azot de pe încălzitor are o rezistență la suprafață extrem de scăzută, menținând în același timp toate beneficiile mecanice și chimice ale SIC clasice. Stratul conductiv oferă o uniformitate de curent foarte bună și minimizează pierderea de energie, îmbunătățind în același timp distribuția termică pe suprafața încălzitorului. Este deosebit de ideal pentru aplicațiile de încălzire cu precizie în condiții adesea asociate cu reactoare epitaxiale, cuptoare de difuzie și echipamente de procesare termică rapidă (RTP).

Geometria încălzitorului, de obicei în spirală sau serpentină, așa cum se arată în imagine, este proiectată și optimizată cu intenția de a produce energie de ieșire termică uniformă și încărcare electrică uniformă. Odată cu designul integrat al grafitului și al acoperirii SiC conductive, contactele electrice pot fi realizate direct pe suprafața acoperită, ceea ce elimină necesitatea unor electrozi suplimentari sau conexiune metalică. Acest lucru reduce riscurile de contaminare și duce la un ansamblu mai simplu. În consecință, eficiența generală este îmbunătățită.

Beneficiile cheie ale conducătoruluiÎncălzitor de grafit acoperit cu sicinclude:

Conductivitate electrică excelentă datorată dopajului de azot, permițând fluxul de curent direct și încălzirea rezistentă eficientă.

Uniformitate termică superioară cu un control precis al temperaturii pe întreaga suprafață.

Rezistență chimică ridicată, în special în medii corozive, cum ar fi hidrogen, amoniac sau atmosfere bogate în halogen.

Generarea minimă a particulelor, care îndeplinesc cerințele de puritate stricte ale fabricării semiconductorilor.

Durata de viață extinsă, datorită durabilității mecanice și rezistenței la șoc termic atât a miezului de grafit, cât și a acoperirii SIC.

Aplicațiile pentru acest încălzitor se extind pe o serie de industrii tehnologice avansate. Încălzitorul va găsi un loc în procesele de fabricație a semiconductorilor precum depunerea de vapori chimici (CVD), epitaxia fasciculului molecular (MBE) și recoacerea waferului, unde controlul precis al temperaturii și puritatea materialelor sunt critice. Încălzitorul de grafit acoperit cu SIC poate fi, de asemenea, utilizat în producția fotovoltaică, sinterizarea ceramicii avansate și în alte procese termice în care sunt necesare performanțe mai mari, durabilitate și încălzitoare robuste.

În rezumat, încălzitorul de grafit acoperit cu SIC este un avans impresionant în dezvoltarea componentelor termice. Folosind un acoperire SIC dopat cu azot, am dezvoltat un produs termic eficient, care combină cu succes stabilitatea chimică a acoperirii SIC cu conductivitatea electrică. Astfel, producerea unui proces termic mai eficient, mai curat și mai fiabil pentru cele mai solicitante aplicații industriale. Industriile semiconductoare și materiale se confruntă cu schimbări continue, iar materialele hibride de acest fel vor deveni din ce în ce mai importante în a permite viitoarele tehnologii mai avansate pentru fabricație.

Semicorex oferă de înaltă calitateÎncălzitoare de grafit cu acoperireproduse. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, nu ezitați să luați legătura cu noi.

Telefon de contact # +86-13567891907

E -mail: sales@semhorex.com