Metoda de sinteză a pulberii de carbură de siliciu de înaltă puritate (sic)

În prezent, metodele de sinteză alepulbere sic de înaltă puritatePentru creșterea cristalelor unice includ în principal: metoda CVD și metoda îmbunătățită de sinteză autopropagantă (cunoscută și sub denumirea de metodă de sinteză la temperatură ridicată sau metodă de combustie). Printre acestea, sursa SI a metodei CVD pentru sintetizarea pulberii SIC include, în general, silan și tetraclorură de siliciu, etc., iar sursa C folosește, în general, tetraclorură de carbon, metan, etilen, acetilenă și propan, etc., în timp ce dimetyildiclorosilanul și tetrametilsilanul pot oferi sursa S și sursa C în același timp.

Metoda anterioară de sinteză auto-propagantă este o metodă de sinteză a materialelor prin aprinderea semifabricată a reactivului cu o sursă de căldură externă și apoi folosind căldura de reacție chimică a substanței în sine pentru a face ca procesul de reacție chimică ulterioară să continue spontan. Cea mai mare parte a acestei metode folosește pulbere de siliciu și negru de carbon ca materii prime și adaugă alți activatori pentru a reacționa direct la o viteză semnificativă la 1000-1150 ℃ pentru a genera pulbere SIC. Introducerea activatorilor va afecta inevitabil puritatea și calitatea produselor sintetizate. Prin urmare, mulți cercetători au propus o metodă îmbunătățită de sinteză auto-propagantă pe această bază. Îmbunătățirea este în principal pentru a evita introducerea activatorilor și pentru a se asigura că reacția de sinteză este efectuată continuu și eficient prin creșterea temperaturii de sinteză și furnizarea continuă de încălzire.

Pe măsură ce temperatura reacției de sinteză a carburii de siliciu crește, culoarea pulberii sintetizate se va întuneca treptat. Motivul posibil este că temperatura prea ridicată va determina SIC să se descompună, iar întunecarea culorii poate fi cauzată de volatilizarea prea mare a Si în pulbere.

În plus, când temperatura de sinteză este 1920 ℃, forma de cristal β-SIC sintetizată este relativ bună. Cu toate acestea, atunci când temperatura de sinteză este mai mare de 2000 ℃, proporția de C în produsul sintetizat crește semnificativ, ceea ce indică faptul că faza fizică a produsului sintetizat este afectată de temperatura de sinteză.

Experimentul a constatat, de asemenea, că atunci când temperatura de sinteză crește într -un anumit interval de temperatură, dimensiunea particulelor a pulberii sic sintetizate crește. Cu toate acestea, atunci când temperatura de sinteză continuă să crească și depășește un anumit interval de temperatură, dimensiunea particulelor din pulberea SIC sintetizată va scădea treptat. Când temperatura de sinteză este mai mare de 2000 ℃, mărimea particulelor din pulberea sic sintetizată va tinde la o valoare constantă.

Oferte semicorexpulbere de carbură de siliciu de înaltă calitateîn industria semiconductorilor. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, nu ezitați să luați legătura cu noi.

Telefon de contact # +86-13567891907

E -mail: sales@semhorex.com