Dușuri cu semiconductor

The Placă de distribuție a gazelor, de multe ori, denumită „cap de duș”, poate semăna cu un cap de duș convențional, dar prețul său poate ajunge în sute de mii, semnificativ mai mare decât un duș tipic de baie.

Suprafața plăcii de distribuție a gazelor are sute sau chiar mii de găuri minuscule, cu precizie, asemănătoare cu o rețea neuronală fin țesută. Acest design permite un control precis al fluxului de gaz și unghiurile de injecție, asigurându -se că fiecare parte a zonei de procesare a plafonului este uniformă „scăldată” în gazul de proces. Acest lucru nu numai că îmbunătățește eficiența producției, dar îmbunătățește calitatea produsului.

Placa de distribuție a gazelor este integrantă proceselor cheie, cum ar fi curățarea, gravura și depunerea. Influențează direct exactitatea proceselor semiconductoare și calitatea produselor finale, ceea ce îl face o componentă critică în diferite aplicații de distribuție a gazelor.

În timpul procesului de reacție a plafonului, suprafațaDușheadeste dens acoperit cu micropore (diafragmă 0,2-6 mm). Prin structura canalului proiectată precis și calea gazului, gazul special pentru proces trebuie să treacă prin mii de găuri mici pe placa de gaz uniformă și apoi să fie depusă uniform pe suprafața plafonului. Stratul de film din diferite zone ale plafonului trebuie să asigure uniformitate și consistență ridicată. Prin urmare, pe lângă cerințele extrem de ridicate pentru curățenia și rezistența la coroziune, placa de distribuție a gazelor are cerințe stricte privind consistența deschiderii găurilor mici de pe placa de distribuție a gazelor și a burrilor de pe peretele interior al micilor găuri. Dacă toleranța la dimensiunea diafragmei și abaterea standard de consistență sunt prea mari sau există burrs pe orice perete interior, grosimea stratului de film depus va fi diferită, ceea ce va afecta direct randamentul procesului echipamentului.

Materialul plăcii de distribuție a gazelor este uneori material fragil (cum ar fi siliciu cu un singur cristal, sticlă de cuarț, ceramică), care este ușor de rupt sub acțiunea forței externe. De asemenea, este o gaură ultra-profundă de 50 de ori diametrul microporei, iar situația de tăiere nu poate fi observată direct. În plus, căldura de tăiere nu este ușor de transmis, iar îndepărtarea cipurilor este dificilă, iar bitul de burghiu este ușor rupt din cauza blocării cipurilor. Prin urmare, procesarea și pregătirea sa sunt foarte dificile.

În plus, în procesele asistate cu plasmă (cum ar fi PECVD și gravură uscată), capul de duș, ca parte a electrodului, trebuie, de asemenea, să genereze un câmp electric uniform printr-o sursă de alimentare RF pentru a promova distribuția uniformă a plasmei, îmbunătățind astfel uniformitatea gravurii sau depunerea.

Deoarece gazele utilizate în procesul de fabricație a semiconductorilor pot fi la temperatură ridicată, presiune ridicată sau corozivă, capul de duș este de obicei din materiale rezistente la coroziune. În producția reală, datorită diferitelor scenarii de utilizare și a preciziei necesare efective, placa de distribuție a gazelor poate fi împărțită în următoarele două categorii în funcție de compoziția materială:

(1) Placa de distribuție a gazelor metalice

Materialele plăcilor de distribuție a gazelor metalice includ aliaj de aluminiu, oțel inoxidabil și metal nichel, printre care cel mai utilizat material de distribuție a gazelor metalice este aliaj de aluminiu, deoarece are o conductivitate termică bună și o rezistență puternică de coroziune. Este disponibil pe scară largă și ușor de procesat.

(2) Placă de distribuție a gazelor nemetalice

Materialele plăcilor de distribuție a gazelor nemetalice includ siliciu cu un singur cristal, sticlă de cuarț și materiale ceramice. Printre ele, materialele ceramice utilizate frecvent sunt CVD-SIC, ceramică de alumină, ceramică cu nitru de siliciu etc.

Semicorex oferă de înaltă calitateCVD SIC DOWHEADSîn industria semiconductorilor. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, nu ezitați să luați legătura cu noi.

Telefon de contact # +86-13567891907

E -mail: sales@semhorex.com