Crucible acoperit cu TAC în creșterea cristalului SIC

În ultimii ani,TAC acoperitCrucibilele au devenit o soluție tehnică importantă ca vase de reacție în procesul de creștere a cristalelor de carbură de siliciu (SIC). Materialele TAC au devenit materiale cheie în domeniul creșterii cristalelor din carbură de siliciu, datorită rezistenței lor excelente de coroziune chimică și a stabilității la temperaturi ridicate. În comparație cu creuzetele tradiționale de grafit, crucelele acoperite cu TAC oferă un mediu de creștere mai stabil, reduc impactul coroziunii grafitului, extind durata de viață a creuzetului și evită efectiv fenomenul ambalajului de carbon, reducând astfel densitatea microtuburilor.

 Fig.1 Creșterea cristalului SIC

Avantaje și analiza experimentală a creuzetelor acoperite cu TAC

În acest studiu, am comparat creșterea cristalelor de carbură de siliciu folosind creuzete tradiționale de grafit și creuzet de grafit acoperite cu TAC. Rezultatele au arătat că creuzetele acoperite cu TAC îmbunătățesc semnificativ calitatea cristalelor.

Fig.

Figura 2 ilustrează faptul că cristalele de carbură de siliciu cultivată în creuzetele tradiționale de grafit afișează o interfață concavă, în timp ce cele cultivate în cruciabile acoperite cu TAC prezintă o interfață convexă. Mai mult decât atât, așa cum se vede în figura 3, fenomenul policristalin de margine este pronunțat în cristale cultivate folosind creuzete tradiționale de grafit, în timp ce utilizarea creuzelelor acoperite cu TAC atenuează eficient această problemă.

Analiza indică faptul căAcoperire TACCrește temperatura la marginea creuzetului, reducând astfel rata de creștere a cristalelor din acea zonă. În plus, acoperirea TAC previne contactul direct între peretele lateral al grafitului și cristal, ceea ce ajută la atenuarea nucleării. Acești factori reduc colectiv probabilitatea ca policristalinitatea să apară la marginile cristalului.

Fig.3 OM Imagini ale napolitanelor în diferite etape de creștere

Mai mult, cristalele de carbură de siliciu crescută înTAC-acoperităCruciabilele au prezentat aproape nicio încapsulare a carbonului, o cauză comună a defectelor micropipe. Drept urmare, aceste cristale demonstrează o reducere semnificativă a densității defectelor micropipe. Rezultatele testelor de coroziune prezentate în figura 4 confirmă faptul că cristalele cultivate în creuzetele acoperite cu TAC nu au practic defecte de micropipe.

Fig.4 OM Imagine după gravură KOH

Îmbunătățirea calității cristalelor și a controlului impurității

Prin GDMS și testele de cristale ale GDM -urilor, studiul a constatat că conținutul de TA în cristal a crescut ușor atunci când au fost utilizate creuzete acoperite cu TAC, dar acoperirea TAC a limitat semnificativ intrarea în azot (N) dopaj în cristal. În rezumat, creuzetele acoperite cu TAC pot crește cristale de carbură de siliciu cu o calitate mai ridicată, în special în reducerea densității defectelor (în special a microtuburilor și a încapsulării de carbon) și a controlului concentrației de dopaj de azot.

Semicorex oferă de înaltă calitateCreuzet de grafit acoperit cu TACPentru creșterea cristalului SIC. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, nu ezitați să luați legătura cu noi.

Telefon de contact # +86-13567891907

E -mail: sales@semhorex.com