Mandrina ceramică microporoasă Semicorex este proiectată pentru a oferi o reținere uniformă și stabilă a vidului pentru procesele de producție de precizie în care planeitatea, curățenia și repetabilitatea sunt esențiale. Conceput pentru integrarea OEM, Semicorex folosește materiale ceramice avansate și structuri microporoase controlate pentru a oferi performanțe de fixare fiabile în aplicațiile industriale solicitante.*
Mandrina ceramică microporoasă Semicorex ca componentă cheie în manipularea plachetelor în semiconductor. Ca parte centrală a mandrinei ceramice microporoase, orificiile ceramicii microporoase sunt de obicei extrem de mici, porozitatea trebuie să fie de aproximativ 30% ~ 50%. Diametrul găurii este necesar să fie la nivel micro, chiar la nivel nano. Poate garanta ca piesa de prelucrat să fie atașată ferm pe mandrina de vid, poate preveni factorii negativi cu zgârieturile de suprafață, zgârieturi și etc, din cauza presiunilor negative. Între timp, atunci când utilizați mandrina de vid cu alumină în timpul procesului de fotolitografie a componentelor electronice, de obicei necesită porosCeramica de aluminămandrina să fie neagră, pentru a evita interferențele cauzate de lumina parazită reflectată de mandrina.
Deoarece structura dealuminămandrinele de vid este relativ simplă, costurile de producție și întreținere sunt scăzute, iar forța de adsorbție este, de asemenea, relativ ușor de reglat, napolitana poate fi absolut stabilă și fixată în timpul procesării prin ajustarea stării de funcționare a pompei de vid sau a distanței dintre mandrine. Cu toate acestea, atunci când napolitana este procesată în vid sau în mediu de joasă presiune, cum ar fi depunerea chimică de vapori, mandrina de vid se bazează pe diferența de presiune nu poate funcționa, ceea ce îi limitează aplicațiile. În plus, atunci când napolitana este absorbită pe suprafața mandrinei ceramice microporoase, aceasta va fi deformată din cauza presiunii aerului, apoi napolitana se poate întoarce după procesare, rezultând o suprafață ondulată pe suprafața tăiată, planeitate redusă a suprafeței și impact asupra preciziei prelucrării. Deci, mandrina ceramică microporoasă este utilizată în mod obișnuit pentru fixarea sau transportul unor componente plate și bine sigilate, cum ar fi placa metalică. Și în procesarea semiconductorilor, se aplică în mod normal în procesul low-end.
Mandrinele ceramice microporoase Semicorex sunt componente de susținere a vidului de înaltă precizie concepute pentru aplicații care necesită forță de strângere uniformă, planeitate excelentă și funcționare fără contaminare. Dezvoltate pentru producătorii de echipamente OEM și medii de producție avansate, mandrinele ceramice Semicorex oferă o fixare stabilă și repetabilă a piesei de prelucrat acolo unde prindere mecanică sau design convențional de mandrine cu vid sunt insuficiente.
Spre deosebire de mandrinele de vid convenționale care se bazează pe găuri de vid discrete, mandrinele ceramice microporoase Semicorex utilizează o structură microporoasă complet interconectată pentru a distribui vidul în mod uniform pe suprafața mandrinei.
Acest design oferă:
Forță de reținere uniformă pe întreaga zonă de contact
Reducerea tensiunii localizate și a deformarii piesei de prelucrat
Stabilitate îmbunătățită pentru substraturi subțiri, fragile sau flexibile
Ca rezultat, aceste mandrine sunt potrivite în special pentru plachete de siliciu, panouri de sticlă, substraturi din safir, ceramică și materiale compozite.
Mandrinele ceramice microporoase Semicorex sunt fabricate folosind procese de sinterizare de precizie și finisare a suprafeței pentru a obține planeitate ridicată și stabilitate dimensională pe termen lung.
Planeitatea tipică poate fi controlată în limitele toleranțelor la nivel de microni, în funcție de dimensiune și aplicare
Expansiunea termică scăzută minimizează deformarea în cazul fluctuațiilor de temperatură
Acest lucru asigură o precizie constantă a poziționării în procesele de șlefuire, lustruire, inspecție și litografie.
Materialele ceramice avansate sunt în mod inerent nemetalice, nemagnetice și rezistente la coroziune, ceea ce face ca mandrinele ceramice microporoase Semicorex să fie potrivite pentru medii de producție curate și sensibile.
Avantajele cheie includ:
Fără contaminare cu metale
Generare redusă de particule
Compatibilitate cu aplicațiile camerelor curate
Aceste proprietăți le fac ideale pentru fabricarea semiconductoarelor, producția de componente optice și procesarea electronică de precizie.
Structură ceramică microporoasă controlată
Dimensiunea porilor și porozitatea mandrinelor ceramice microporoase Semicorex sunt proiectate cu atenție pentru a echilibra debitul de vid, forța de reținere și rezistența mecanică.
Distribuția uniformă a porilor sprijină performanța stabilă a vidului
Structura microporoasă reduce pierderea bruscă de presiune în timpul funcționării
Fiabilitate îmbunătățită a ținerii în comparație cu mandrinele de vid cu găuri
Această structură asigură performanțe consistente de fixare în timpul funcționării continue.
Mandrinele ceramice microporoase Semicorex sunt utilizate pe scară largă în:
Slefuirea si lustruirea plachetelor semiconductoare
Prelucrarea substratului din sticlă, safir și ceramică
Fabricarea componentelor optice
Prelucrare de precizie si sisteme de metrologie
Performanța lor stabilă și repetabilă le face foarte potrivite pentru linii de producție automate, de înaltă precizie.
Care este principalul avantaj al unei mandrine ceramice microporoase?
Oferă o forță uniformă de reținere a vidului pe întreaga suprafață, minimizând deformarea și îmbunătățind stabilitatea procesului.
Mandrinele din ceramică Semicorex sunt potrivite pentru napolitane subțiri?
Da. Sunt deosebit de eficiente pentru piese de prelucrat subțiri, fragile sau flexibile care necesită o distribuție uniformă a presiunii.
Mandrinele ceramice microporoase Semicorex pot fi personalizate pentru echipamentele OEM?
Da. Dimensiunile, porozitatea și specificațiile suprafeței pot fi adaptate pentru aplicațiile specifice OEM.
Cum se întrețin mandrinele ceramice microporoase?
Curățarea de rutină este de obicei suficientă. Structura ceramică rezistă la uzură, coroziune și degradare chimică.