Tub de ghidare interior

Tubul de ghidare interioară Semicorex este proiectat cu preciziecomponent carbon/carbon (C/C).conceput pentru aplicații avansate de câmp termic la temperatură înaltă, în special în creșterea cristalelor de siliciu de înaltă puritate. Fiind un element critic în cuptoarele de creștere a cristalelor, această componentă joacă un rol central în modelarea și stabilizarea gradientului termic, asigurând formarea optimă a cristalelor și o calitate consistentă a materialului.

Fabricat din compozit de carbon ranforsat cu fibră de carbon de înaltă densitate, tubul de ghidare interioară oferă integritate structurală și stabilitate termică excepționale în condiții extreme. Cu o densitate de ≥1,35 g/cm³ și o rezistență la încovoiere ≥110 MPa, menține robustețea mecanică chiar și în timpul expunerii prelungite la temperaturi ridicate. Aceste proprietăți sunt esențiale în producția de siliciu de calitate semiconductoare, unde chiar și fluctuațiile minore ale condițiilor termice pot afecta în mod semnificativ uniformitatea cristalului și ratele defectelor.

Funcționalitate de bază: control de precizie a gradului

Rolul principal al tubului de ghidare interioară C/C este de a construi un câmp precis de temperatură în gradient. În timpul procesului de creștere a cristalului de siliciu, acesta este poziționat direct deasupra topiturii pentru a:

Fluxul direct de gaz: ghidează fluxul de gaz argon inert, asigurând că vaporii de oxid de siliciu (SiO) sunt îndepărtați eficient de suprafața topiturii, prevenind contaminarea cu oxigen în cristal.

Protecție termică: protejează cristalul în creștere de radiația directă de căldură de la pereții creuzetului, stabilind un gradient de temperatură axial abrupt necesar pentru tragerea de cristale de mare viteză și de înaltă calitate.

Eficiență energetică: Prin concentrarea căldurii în zona de topire și izolarea componentelor superioare ale cuptorului, se reduce semnificativ consumul total de energie.

Specificații tehnice și excelență materială

Tuburile noastre de ghidare interioară sunt fabricate folosind densitate mareCompozite carbon/carbon, oferind o alternativă superioară grafitului tradițional. Proprietățile materialului sunt optimizate pentru condițiile extreme ale cuptoarelor sub vid cu semiconductor:

Densitate: ≥ 1,35 g/cm³

Rezistența la încovoiere: ≥ 110 MPa

Coeficientul de dilatare termică (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Conductivitate termică (temperatura camerei): ≤ 10 W/(m·K)

Industrie

Pe măsură ce industria se îndreaptă către dimensiuni mai mari ale plachetelor (300 mm și 450 mm), cerințele asupra câmpului termic cresc exponențial. Tuburile noastre de ghidare interioară sunt compatibile cu marile mărci de cuptoare CZ și pot fi personalizate în ceea ce privește geometria și acoperirea.