Barcă de napolitană SiC orizontală

O caracteristică definitorie a barcii Semicorex Horizontal SiC Wafer Boat este arhitectura sa cu fante, proiectată meticulos, special adaptată pentru a menține în siguranță napolitanele pe parcursul diferitelor procese la temperatură ridicată. Această constrângere precisă a plachetelor servește mai multor funcții critice:

Eliminarea mișcării napolitanelor:Prevenind alunecarea sau deplasarea nedorite, barca orizontală SiC Wafer Boat asigură o expunere constantă la gazele de proces și la profilele de temperatură, contribuind la procesarea foarte uniformă a plachetelor și minimizând riscul de defecte.

O uniformitate îmbunătățită a procesului:Poziționarea constantă a plachetelor se traduce direct la o uniformitate superioară a parametrilor critici, cum ar fi grosimea stratului, concentrațiile de dopaj și morfologia suprafeței. Această precizie este deosebit de crucială în aplicații precum depunerea chimică în vapori (CVD) și difuzia, unde chiar și mici variații pot avea un impact semnificativ asupra performanței dispozitivului.

Daune reduse ale napolitanelor:Prinderea sigură a barcii de napolitană orizontală SiC minimizează potențialul de așchiere, spargere sau zgâriere a napolitanelor în timpul manipulării și transportului, ceea ce este esențial pentru menținerea randamentelor ridicate și reducerea costurilor de producție.

Dincolo de designul lor de precizie, barca orizontală SiC Wafer Boat oferă o combinație convingătoare de proprietăți ale materialelor care o fac ideală pentru producția de semiconductori și fotovoltaice:

Rezistență la temperaturi extreme: Barca de napolitană orizontală SiC prezintă o rezistență și o stabilitate excepționale la temperaturi ridicate, permițându-i să reziste la condițiile termice extreme întâlnite în timpul proceselor precum creșterea cristalelor, recoacere și procesare termică rapidă (RTP) fără deformare sau degradare.

Puritate ultra-înaltă pentru controlul contaminării:Utilizarea SiC de înaltă puritate asigură o eliberare minimă de gaze sau o generare de particule, salvând integritatea suprafețelor sensibile ale plachetelor și prevenind contaminarea care ar putea compromite performanța dispozitivului.

Stabilitate chimică excepțională:Inerția inerentă a SiC face ca Barca de napolitană SiC orizontală să fie foarte rezistentă la atacul de la gazele corozive și substanțele chimice utilizate în mod obișnuit în fabricarea semiconductoarelor și fotovoltaice. Această stabilitate chimică robustă asigură o durată lungă de viață operațională și minimizează riscul de contaminare încrucișată între ciclurile de proces.

Versatilitatea și avantajele de performanță ale barcii orizontale SiC Wafer Boat au condus la adoptarea sa pe scară largă într-o serie de procese critice de fabricație a semiconductoarelor și fotovoltaice:

Creștere epitaxială:Poziționarea precisă a plachetelor și uniformitatea temperaturii sunt esențiale pentru obținerea de straturi epitaxiale de înaltă calitate în dispozitivele semiconductoare avansate, făcând barca orizontală SiC Wafer Boat un instrument esențial pentru acest proces.

Difuzia și implantarea ionică:Controlul dopajului precis este esențial în definirea caracteristicilor electrice ale dispozitivelor semiconductoare. Barca orizontală SiC Wafer Boat asigură o poziționare precisă a plachetelor în timpul acestor procese, ceea ce duce la o uniformitate și performanță îmbunătățită a dispozitivului.

Fabricarea celulelor solare:Capacitățile la temperaturi înalte și rezistența chimică a barcii de napolitană orizontală SiC o fac ideală pentru prelucrarea plachetelor de siliciu utilizate în celulele fotovoltaice, contribuind la creșterea eficienței și longevității sistemelor de energie solară.