Barci cu napolitană de cuarț orizontale

Barci orizontale cu napolitană de cuarțîn mod obișnuit, țin napolitane semiconductoare orizontal în tuburile cuptorului echipamentelor de tratament termic, încălzite cu dispozitive de încălzire externe. Ele sunt utilizate pe scară largă în procese solicitante de tratare termică a semiconductoarelor corozive la temperatură înaltă, cum ar fi oxidarea termică, difuzia la temperatură înaltă, recoacere și procesele de depunere chimică în vapori (CVD).

Funcțiile bărcilor napolitane de cuarț orizontale Semicorex

1. Ținere și asigurare stabilă

Barcile orizontale cu napolitane de cuarț Semicorex au o capacitate portantă excelentă și pot oferi în mod constant suport stabil pentru mai multe napolitane cu semiconductor. Și designul lor extern optimizat și structura precisă a slotului asigură fiecarenapolitanaeste perfect montat și fixat ferm pe barcile orizontale cu napolitană de cuarț, ceea ce reduce semnificativ zgârieturile și coliziunile din napolitană cauzate de scuturare, deplasare și înclinare în timpul transportului și proceselor de fabricație.

2. Asistență pentru uniformizarea procesului

Structura cu fante de spațiere egală a barcilor orizontale cu napolitane de cuarț permite amplasarea ordonată a plachetelor semiconductoare, creând astfel un câmp de flux de gaz stabil și neted în cuptoarele cu temperatură înaltă. Designul structural realizează un contact constant cu gazul și o viteză de reacție pe fiecare suprafață a plachetei, reducând astfel în mod eficient diferitele defecte cauzate de încălzirea neuniformă și contactul diferențial al gazului, cum ar fi oxidarea incompletă a plachetei, depunerea neuniformă a filmului subțire și abaterea concentrației de dopaj.

3. Durată de viață de lungă durată

Datorită rezistenței superioare la temperatură înaltă a materialului cuarț, bărcile orizontale cu napolitană de cuarț Semicorex pot rezista la temperaturi ridicate de 1100-1200℃ pentru o lungă perioadă de timp, fără deformare sau topire.Cuarţeste inert din punct de vedere chimic la gazele utilizate în mod obișnuit în procesele semiconductoare, cum ar fi oxigenul, azotul și clorura de hidrogen. Această inerție chimică excepțională poate minimiza riscul de coroziune din gazele de proces, prelungind foarte mult durata de viață și reducând timpul și costurile de înlocuire a echipamentelor.