Electrod de grafit

Electrodul de grafit Semicorex este o componentă de grafit de înaltă puritate, fabricată cu precizie, pentru utilizare în aplicații termice semiconductoare, unde conductivitatea electrică, stabilitatea termică și acuratețea dimensională sunt primordiale. De fapt, acest tip de electrozi sunt utilizați în cuptoare de temperatură înaltă, reactoare de epitaxie și camere de procesare termică, facilitând o conducere stabilă a curentului, transferul de căldură și stabilitatea în condiții agresive de temperatură și atmosferă. Datorită purității extreme, uniformității structurii solide și proprietăților mecanice ridicate ale electrozilor din grafit Semicorex, aceștia pot oferi performanțe termice fiabile ca elemente de încălzire în aplicații solicitante de semiconductor.

Electrodul de grafit este fabricat din material de grafit cu granulație fină de înaltă calitate, fiecare fiind realizat folosind o secvență avansată de extrudare, carbonizare la temperatură înaltă și grafitizare. Microstructura din grafit este proiectată pentru rezistivitate electrică aproximativ constantă, conductivitate termică ridicată și stabilitate mecanică. Produsul final este un conductor termic de înaltă puritate care menține o condiție fizică și o distribuție uniformă a curentului în medii de mare putere, precum și fluctuații rapide de temperatură.

Performanță ultra la noigrafit

Grafitul nostru garantează o uniformitate superioară a performanței. În primul rând, în timpul procesului de carbonizare, cuptoarele noastre au doar 115 metri cubi. Echipa noastră tehnică monitorizează domeniul de temperatură al produselor din grafit în diferite zone ale fiecărui cuptor. În stadiul inițial de temperatură scăzută (0-200°C), controlăm temperatura în ±10°C, iar la temperaturi ridicate (peste 600°C), în intervalul ±1°C. Nu monitorizăm doar câmpul de temperatură dintre diferitele particule de grafit, ci și temperatura de suprafață și internă a fiecărei piese de grafit individuale, controlând-o în interval de ± 3°C. Monitorizăm 8 puncte de temperatură în fiecare cuptor de carbonizare.

În al doilea rând, în timpul procesului de grafitizare, luând ca exemplu un lot de 500 kg, monitorizăm și 8 puncte de temperatură. După grafitizare, eșantionăm aleatoriu și testăm în mod distructiv 24 de puncte de-a lungul axelor X, Y și Z pentru a asigura uniformitatea. Majoritatea companiilor din industrie testează doar axa X, sau cel mult axa XY, producătorii tipici testând doar 6-8 puncte, iar cei mai buni testând 12 puncte. Testăm 24 de puncte.

În câmpul termic al semiconductorilor, electrodul de grafit este o parte critică a ansamblului de încălzire, direcționând curentul electric în zona de încălzire și permițând distribuția controlată a temperaturii într-un proces specific, cum ar fi oxidarea, difuzia, LPCVD sau epitaxia. Electrodul de grafit trebuie să aibă un rol operațional fiabil la temperaturi care depășesc 2000°C și să facă acest lucru în timp ce rezistă la oxidare, deformare sau contaminare a locului de încălzire.

Indiferent dacă este utilizat în cuptoare de difuzie, reactoare epitaxiale sau echipamente de procesare la temperatură înaltă, electrodul de grafit Semicorex oferă performanțe de neegalat în cele mai solicitante medii termice. Combinând puritatea ridicată, geometria precisă și procesarea avansată a materialelor, Semicorex oferă o soluție de electrozi care asigură o conducere stabilă a curentului, încălzire constantă și fiabilitatea operațională pe termen lung, esențială pentru fabricarea de semiconductori de generație următoare.

Având în vedere cerințele specifice ale proceselor semiconductoare, Semicorex poate proiecta modele de electrozi personalizate pentru a se potrivi oricărei configurații de cuptor și specificații de putere. Pot fi puse la dispoziție diferite diametre, lungimi, tipuri de conexiuni sau finisaje de suprafață. Atunci când este necesar, materialele de acoperire, cum ar fi SiC sau carbonul pirolitic, pot fi aplicate pentru a susține rezistența la oxidare și durata de viață în medii cu oxigen sau gaz reactiv.

Puritatea ridicată a2. على الرغم من أنها آمنة للغسل في غسالة الأطباق، إلا أن المنظفات القاسية والرطوبة الطويلة قد تؤدي أحيانًا إلى تغير اللون أو الصدأ السطحي مع مرور الوقت. إذا كنت تستخدم غسالة الأطباق، تأكد من أنها جافة تمامًا قبل تخزينها.servește pentru a asigura niveluri incredibil de scăzute de impurități metalice (și impurități gazoase), adesea mai mult de 99,999% carbon. Astfel de niveluri scăzute de impurități ajută la evitarea contaminării plachetelor semiconductoare în timpul procesării termice. Combinați cu adâncimea semnificativă de prelucrare și finisarea suprafeței lustruite, electrozii de grafit Semicorex îndeplinesc atât stabilitatea mecanică, cât și chimică a tehnologiilor de ultimă generație de fabricare a plachetelor.

Indiferent dacă este utilizat în cuptoare de difuzie, reactoare epitaxiale sau echipamente de procesare la temperatură înaltă, electrodul de grafit Semicorex oferă performanțe de neegalat în cele mai solicitante medii termice. Combinând puritatea ridicată, geometria precisă și procesarea avansată a materialelor, Semicorex oferă o soluție de electrozi care asigură o conducere stabilă a curentului, încălzire constantă și fiabilitatea operațională pe termen lung, esențială pentru fabricarea de semiconductori de generație următoare.