Chuck Graphite

Semicorex Graphite Chuck este o componentă crucială în fabricația de polisilicon, utilizată pe scară largă în industria solară. Pe măsură ce cererea de napolitane de siliciu de înaltă puritate crește, a devenit esențială necesitatea unor instrumente de procesare de înaltă performanță, cum ar fi chicoturile de grafit. Fabricate din grafit de specialitate de înaltă puritate, mucile noastre de grafit sunt concepute pentru a rezista la temperaturi extreme, expunere chimică și tensiuni mecanice, menținând în același timp stabilitatea dimensională.*

Trimite o anchetă

Descriere produs

Mandul de grafit semicorex este conceput dinGrafit specializat, recunoscută pentru rezistența sa termică și chimică remarcabilă. Un exemplu unic de astfel de mandrină de grafit care a fost conceput în mod specific din acea formă de grafit, deoarece este cunoscut pentru rezistența sa foarte ridicată la substanțe chimice și la căldură. Acest lucru face ca Chucks să fie foarte de lungă durată și vor funcționa în cele mai dificile condiții utilizate în depunerea de vapori chimici (CVD) sau gravură cu plasmă sau chiar într-un cuptor cu temperaturi ridicate. Ca atare, puritatea ridicată cu impurități foarte mici ar însemna deja că nu ar provoca contaminare în timpul producției de polisilicon. Sunt capabile să poarte temperaturi mult peste 2000 ° C, fără o deformare notabilă, deoarece sunt foarte stabile prin temperatură crescută. În plus, acestea au, de asemenea, o rezistență superioară la majoritatea substanțelor chimice și, prin urmare, vor supraviețui în condiții foarte dificile, cum ar fi în acidul clorhidric (HCl) sau tetraclorura de siliciu (SICL4). Rezistența mecanică ridicată înseamnă totuși că mand -ul este capabil să -și păstreze forma chiar și atunci când este supus unei sarcini continue.

Chuck -ul de grafit este esențial în procesarea waferului și creșterea cristalelor; Acestea joacă un rol principal în toate producțiile în orice etapă, cum ar fi depunerea de vapori chimici (CVD), unde asigură depunerea uniformă a siliciului. În timpul tăierii și lustruirii, acestea oferă un suport stabil pentru tăierea plafonului și finisarea suprafeței. În procesarea termică, acestea acționează ca o bază rezistentă la căldură pentru procesele de recoacere și dopaj de placă de siliciu, îmbunătățind semnificativ eficiența și calitatea liniei de producție.

Cum asigurăm uniformitatea performanței noastregrafit?

În primul rând, carbonizare. Cuptorul nostru are doar 115 metri cubi. Echipa noastră tehnică va testa câmpul de temperatură al produselor de grafit în diferite zone ale fiecărui cuptor. În starea de temperatură scăzută (0-200 °) când temperatura începe să crească, o vom controla la aproximativ ± 10 °, iar în starea de temperatură ridicată (peste 600 °), îl vom controla la ± 1 °. Nu numai că vom testa câmpul de temperatură între diferiți grafite, dar, de asemenea, testăm suprafața și temperatura internă a fiecărui material de grafit și îl vom controla la ± 3 °. Testăm 8 puncte de temperatură în fiecare cuptor în cuptorul de carbonizare.

Al doilea este grafitizarea. Luând 500 kg ca exemplu, vom testa și 8 puncte de temperatură. Probele sunt inspectate aleatoriu în orice poziție a produsului grafitizat pentru testarea distructivă. După distrugere, sunt testate 24 de puncte. Testele sunt efectuate separat de axa XYZ pentru a asigura uniformitatea acesteia. Majoritatea companiilor din industrie vor testa doar axa X sau cel mult axa XY.

Producătorii generali testează doar 6-8 puncte, iar cele mai bune testează 12 puncte, în timp ce testăm 24 de puncte.

Semicorex Graphite Chuck este o soluție indispensabilă pentru producătorii de polisilicon care caută un instrument de înaltă performanță, fiabil și rentabil. Cu proprietăți de materiale avansate și inginerie de precizie, produsul nostru îmbunătățește eficiența și calitatea producției de wafer de siliciu în industria solară. Pentru mai multe informații sau specificații personalizate, vă rugăm să ne contactați astăzi.