Felt de acoperire cu carbon sticlă

Felt de acoperire cu carbon din sticlă semicorex acționează ca un strat de izolare interioară în reactoarele epitaxiale din carbură de siliciu. Este un material de izolare de înaltă performanță conceput pentru medii termice avansate. Acest produs depășește provocările tipice de fabricație de temperatură cu temperatură ridicată, oferind soluții superioare datorită proprietăților sale de izolare termică ușoară și excelentăGrafit Felt, însoțită de integritatea suprafeței și de inertul chimic, transmisă de o acoperire de carbon sticloasă.

Materialul de bază este o puritate ridicatăGrafit Felta ales pentru conductivitatea termică scăzută stabilitate la temperatură ridicată și greutate ușoară. Felturile normale de grafit are de obicei vărsare de fibre de suprafață și generarea de particule la temperaturi ridicate care pot contamina mediul procesului în sisteme epitaxiale sensibile. Pentru a atenua această problemă, suprafața pâslei de grafit este acoperită uniform cu un strat de carbon sticlos-o formă densă, non-poroasă de carbon, cunoscută pentru inerția sa chimică, permeabilitatea cu gaz scăzut și stabilitatea termică excepțională.

Carbonul sticlos este un carbon nefitizat care combină proprietățile sticlei și ceramicii. Spre deosebire de grafitul cristalin, este un material de carbon hibridizat amorf, aproape 100% SP2, care este format prin sinterizarea la temperaturi ridicate a precursorilor organici polimerizați, cum ar fi rășina fenolică, rășina de alcool furfuril, etc., într-o atmosferă de gaz inert. Deoarece este negru pe tot parcursul și are o suprafață netedă similară cu sticla, se numește carbon sticlos.

Acoperirea de carbon sticloasă poate elimina generarea de particule de cuptor, poate furniza pori de suprafață sigilați, are proprietăți excelente de demonstrare și poate reduce permeabilitatea, ceea ce face ca acest material să fie foarte potrivit pentru matrițele de turnare continuă și produsele din industria semiconductorilor. Acest material are o gamă largă de aplicații în industria semiconductorilor, în special în piese de grafit, cum ar fi componente de echipament cu un singur cristal de siliciu, componente de creștere epitaxială, matrițe de turnare continuă, jiguri de etanșare a sticlei etc.

Carbonul sticlos are o rezistență ridicată la temperatură de până la 3000 ° C în gaz inert sau în vid și, spre deosebire de toate celelalte materiale ceramice și metalice la temperaturi ridicate, rezistența carbonului sticloasă crește odată cu creșterea temperaturii de până la 2700k și nu devine fragilă și are o rezistență la șocuri termice extrem de ridicate, astfel încât perioada de încălzire și timp de răcire scurtă nu sunt probleme. În plus, carbonul sticlos are o masă scăzută, absorbția scăzută a căldurii și o expansiune termică scăzută, astfel încât este potrivit pentru aproape toate aplicațiile de temperatură ridicată.

Acoperirea de carbon sticloasă joacă un rol crucial în sigilarea porilor de suprafață a pâslei de grafit, reducând semnificativ eliberarea de particule și praf de carbon în timpul funcționării. Acest lucru este esențial în special în procesele de creștere epitaxială SIC, unde chiar și contaminarea minimă poate compromite calitatea plafonului și performanța dispozitivului. Prin încapsularea structurii poroase a simțirii cu o coajă de carbon sticloasă netedă, dură, acoperirea asigură un mediu termic curat și stabil în camera de reacție.

Avantajele cheie ale pâslei de acoperire cu carbon sticlos includ:

Reducerea vărsării de particule: acoperirea densă se blochează eficient în fibre și particule libere, prevenind contaminarea napolitanelor și componentelor reactorului.

Stabilitate termică ridicată: atât pâslă de grafit, cât și carbon sticlos pot rezista la temperaturi care depășesc 2000 ° C în atmosfere inerte sau în vid, ceea ce face ca produsul să fie ideal pentru procesele SIC la temperaturi ridicate.

Inerea chimică: suprafața de carbon sticloasă este rezistentă la majoritatea acizilor și gazelor corozive, extinzând durata de viață operațională a stratului de izolare în condiții dure.

Consistența îmbunătățită a procesului: generarea de particule minimizate contribuie la un mediu de creștere epitaxială mai stabilă și mai repetabilă, care este esențială pentru producerea de napolitane SIC de înaltă calitate.

Aplicațiile de acoperire de carbon sticloasă se extind în principal la cuptoarele de creștere epitaxială SIC, unde este utilizat ca strat de izolare termică în zona fierbinte. Produsul este de obicei instalat ca material de căptușeală în stive de izolare superioară sau inferioară, unde oferă atât protecție termică, cât și asigurare de curățenie.